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Der MicroProf®: Ein Profilometer für alle Anwendungen

Das Oberflächenmessgerät MicroProf® ist ein leistungsfähiges Multi-Sensor Profilometer für all Ihre 2D-und 3D-Analyseanforderungen. Die berührungslosen und optischen Oberflächenmessgeräte der MicroProf®-Familie sind sehr vielseitige und modulare Messsysteme. Ob als Tischgerät oder vollautomatisiertes Messsystem – die FRT Oberflächenmessgeräte können sowohl in der Forschung und Entwicklung als auch in der Produktion verwendet werden. Das universelle Oberflächenmessgerät MicroProf® steht in verschiedenen Ausführungen zur Verfügung und kann mit Punkt-, Linien- oder Flächensensoren ausgestattet werden. Egal, was Sie messen wollen, ob Profil, Rauheit, Topographie oder Schichtdicke – der MicroProf® ist ein echter Allrounder. Die Oberflächenmessgeräte der MicroProf®- Familie eignen sich für alle Oberflächen – von super glatt bis sehr rau, matt oder reflektierend mit Sub-Nanometer-Präzision. Sie sind einfach zu bedienen, sehr robust, zukunftssicher und liefern in kurzer Zeit Ergebnisse für eine zeit- und kosteneffiziente Arbeit.

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Ein Profilometer für alle Materialien

Die MicroProf®-Systeme basieren auf der bewährten Multi-Sensor Technologie von FRT. Damit sind Sie in der Lage, mit einem System zahlreiche Messaufgaben an unterschiedlichsten Bauteilen / Materialien zu lösen. FRT stellt das optische Messsystem MicroProf® entsprechend Ihrer Anforderung zusammen. Das FRT Multi-Sensor Konzept bietet die Möglichkeit, verschiedene Technologien und Messbereiche in einem System zu kombinieren und ermöglicht Ihnen so das Maximum an Flexibilität. Mögliche Sensortypen sind u.a. chromatische Sensoren, Weißlichtinterferometer, Konfokalmikroskope aber auch Schichtdickensensoren. Die optischen Profilometer von FRT bieten verschiedene Vorteile gegenüber klassischen Profilometern wie z.B. eine schnelle und flexible 2D- oder 3D Oberflächenmessung über einen weiten Bereich von Messfeldern, eine berührungslose und damit zerstörungsfreie Analyse von Oberflächenstrukturen und sie enthalten keine Verbrauchsteile (wie zum Beispiel Tastspitzen). Mit dieser Technik können auch sehr empfindliche Oberflächen wie optische Bauteile oder weiche Materialien ebenso wie Metalle, Halbleiterprodukte, Keramik oder Kunststoff und vieles mehr gemessen werden.

Präzise Messung für jede Oberfläche

OBERFLÄCHENRAUHEIT, TOPOGRAPHIE UND DICKENMESSUNG

Die Bestimmung der Oberflächenrauheit, der Topographie und der Schichtdicke spielt in der Produktion eine wichtige Rolle bei der Überwachung, Bewertung und Optimierung von Oberflächen in einer Vielzahl von Industriezweigen. Ob für Implantate in der Medizintechnik, Lederstrukturen für den Fahrzeuginnenraum in der Automobilindustrie oder Hightechprodukte in der MEMS Fertigung - eine genau spezifizierte Rauheit ist oft Teil der Leistungsanforderung und muss daher exakt bestimmt werden. Die berührungslos und zerstörungsfrei arbeitenden optischen Profilometer von FRT messen Rauheitsparameter nach den neuesten DIN EN ISO Normen. Aufgrund einer Vielzahl von optischen Sensoren kann nahezu jede Oberfläche und deren Rauheit mit den MicroProf®-Systemen zuverlässig und genau bestimmt werden.

Neben der Oberflächenrauheit messen die optischen Profilometer aus der MicroProf®-Familie auch die Oberflächentopographie (Profile oder Flächenmessungen) zum Beispiel für die Erfassung von Welligkeit, Ebenheit oder Stufenhöhe. Für die berührungslose und zerstörungsfreie Charakterisierung von dünnen, transparenten oder teiltransparenten Schichten und Mehrschichtsystemen bietet die MicroProf® Serie die ideale Lösung, wenn Schichtdickensensoren integriert werden: Oberflächenmessgeräte für die optische Schichtdickenmessung mit höchster Auflösung und Genauigkeit für Schichten mit Dicken von nur wenigen Nanometern bis zu mehreren Millimetern.

Doppelseitige Oberflächenmessung

Mit der nachrüstbaren TTV-Option kann der MicroProf® Proben (z.B. Wafer) von beiden Seiten untersuchen. Zwei gegenüberliegende Sensoren messen gleichzeitig auf beiden Seiten der Probe die Form, Topographie und Rauheit und bestimmen im gleichen Messvorgang Dicke und Gesamtdickenvariation (TTV). Für die Platzierung verschiedener Bauteile wie z.B. Wafer, Optiken, Folien, Bleche usw. stehen austauschbare Halter zur Verfügung. Der MicroProf® mit TTV Option kann mit einer Mustererkennungssoftware ausgestattet werden und mit Messrezepten und Handling voll automatisiert betrieben werden.

Vollständig automatisierte Oberflächenmessungen

Mit der leistungsstarken FRT Software Acquire Automation XT kann der MicroProf® vollständig automatisiert werden. Um auch die höchsten Anforderungen zu erfüllen, kann die Software auf Ihre individuellen Bedürfnisse zugeschnitten werden. Für das Anlernen der einfach zu erstellenden Rezepte sind keine Programmierkenntnisse erforderlich und der Anwender kann neue Rezepte ganz einfach nach seinen Anforderungen erstellen.

Der MicroProf® MHU ist ein Metrologie Messgerät mit Material-Handling-Einheit, welches speziell für die Halbleiter-, MEMS- und LED-Industrie entwickelt worden ist. Typische Anwendungen sind die Messung von blanken, strukturierten oder beschichteten Wafern in den verschiedenen lithographischen Prozessschritten. Durch einen Roboterarm mit zwei Vakuum Endeffektoren verfügt das Gerät über einen sehr hohen Durchsatz von bis zu 220 Wafer pro Stunde. Er ist in der Lage, Wafergrößen von 2 bis 12 Zoll zu prozessieren. Je nach Konfiguration können bis zu 4 offene Kassetten verarbeitet werden. Die Option für beidseitige Probenmessung ermöglicht die gleichzeitige Messung von Ober- und Unterseite mit Bestimmung der Probendicke, der Gesamtdickenvariation (TTV) und verschiedener Oberflächenparameter wie Rauheit, Welligkeit und Ebenheit beider Seiten. Eine komplette Messung des Wafers ist ebenfalls möglich, mit Analyse der globalen und lokalen Waferparameter. Für die Sortierung von guten und schlechten Proben steht eine Sortierfunktion zur Verfügung. Basierend auf dem Multi-Sensor Konzept können später weitere Sensoren nachgerüstet werden. Eine weitere Anwendung des MicroProf® MHU ist die Schichtdickenbestimmung von Dünnschichten sowie Schichtstapeln, Messung von Stufenhöhen, Bumps, Vias (TSV), Trenches, etc. Durch das vollständig SEMI-konforme Design, nahezu wartungsfreie Hardwarekomponenten und den hohen Durchsatz ist der MicroProf® MHU die perfekte Lösung für den Einsatz in der Produktion.

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Messungen unter Temperatureinfluss

Der MicroProf® kann mit einer Thermoeinheit ausgestattet werden, um die Oberflächentopographie von Komponenten unter kontrollierter thermischer Belastung zu messen. Es können vollautomatische Messungen der Oberflächentopographie bei unterschiedlichen Temperaturen mit entsprechenden Verweilzeiten bei konstanten Temperaturen durchgeführt werden. Die Thermoeinheit besitzt eine voll integrierter Heiz- und Kühlstufe. Der Temperaturbereich erstreckt sich von 10°C oder -80°C (flüssige Stickstoffkühlung) bis zu 400°C mit einer schnellen Heiz- und Kühlrate und einer homogenen Temperaturverteilung auf der Probenoberfläche. Die Probentemperatur kann exakt eingestellt und individuell mit Temperaturprofilen konfiguriert werden.