Multi-Sensor-Technologie

löst hochkomplexe Messaufgaben

Unsere MULTI-SENSOR-TECHNOLOGIE

Punktsensoren, Liniensensoren, Flächensensoren, Schichtdickensensoren und Rasterkraftmikroskopie

Die FRT Multi-Sensor Technologie bietet Ihnen die Möglichkeit, unterschiedliche Messprinzipien in einem Gerät zu vereinen und ermöglicht somit maximale Flexibilität.

Für die Messung von Topographie, Rauheit, Probendicke, Schichtdicke und viele weitere Oberflächenparameter können die Oberflächenmessgeräte von FRT mit verschiedenen Sensoren ausgestattet werden. Um den individuellen Messbedarf abzudecken bietet FRT dazu eine große Auswahl an Punkt-, Flächen- und Schichtdickensensoren und sogar ein Rasterkraftmikroskop (AFM), die jeweils voll in das System integriert sind und flexibel angeordnet und kombiniert werden können. Die Möglichkeit, Sensoren nachzurüsten, eröffnet Ihnen ebenso weiteren Spielraum für die flexible Anpassung an zukünftige Messaufgaben wie die individuellen und auswechselbaren Probenhalter.

Highlights

  • optische 3D-Oberflächenmesstechnik
  • Messung von Rauheit, Topographie, Schichtdicke etc.
  • Multi-Sensor Technologie
  • in Haus Sensor Entwicklung
  • schnelle und präzise Messung
  • hoher Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit
  • modulare Hardware-Konfiguration

Auch da wo Multi-Sensor Anordnung alleine nicht weiter hilft bietet FRT die passende Lösung: Hybrid-Metrologie. Aufgrund des von uns verfolgten Multi-Sensor Konzepts bietet sich die Möglichkeit mit unterschiedlichen Sensoren eine Messaufgabe zu lösen, indem jeder Sensor eine Messung durchführt und die verschiedenen Ergebnisse kombiniert werden. Nicht nur die Messungen mit allen notwendigen Sensoren werden automatisiert erledigt, sondern die Software nimmt auch die unterschiedlichen Messergebnisse auf und errechnet daraus die gewollten Parameter.

Wenn Sie Fragen zu unseren Technologien haben, wenden Sie sich bitte an uns.

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Unser CWL ist ein schneller optischer Punktsensor, welcher nach dem Prinzip der chromatischen Abstandsmessung arbeitet. Das zerstörungsfreie Verfahren des CWL arbeitet gleichermaßen zuverlässig auf stark und gering reflektierenden Oberflächen. Für Anwendungen bei denen hohe Messgeschwindigkeiten gefordert sind bietet der SLS, als schneller optischer Liniensensor, die optimale Lösung. Er arbeitet wie der CWL nach dem Prinzip der chromatischen Abstandsmessung. Anstelle eines einzelnen Messflecks bildet dieser Sensor 192 Messflecke, die äquidistant entlang einer Linie aufgereiht sind, ab. Das Abrastern eines Messobjekts wird dadurch in einem Bruchteil der bei Punktsensoren üblichen Zeit ermöglicht.

Das im Konfokalmikroskop (CFM) eingesetzte Messprinzip ist ein berührungsloses Messverfahren für die sehr schnelle und hochaufgelöste 3D-Messung von kleinen Strukturen. Dank des flächenhaft arbeitenden konfokalen Messverfahrens liegen aussagekräftige Ergebnisse in wenigen Sekunden vor.

Das Weißlichtinterferometer (WLI) ist ein optischer 3D-Flächensensor, der auf dem Verfahren der Weißlichtinterferometrie basiert. Er zeichnet sich durch schnelle, flächige Topographiemessungen mit hervorragender Höhenauflösung im Sub-Nanometer Bereich aus.

Zum Einsatz können u.a. auch optische Schichtdickensensoren mit interferometrischen oder reflektometrischen Ver­fahren kommen, sodass die Schichtdicke von einigen Millimetern bis unter einem Nano­meter zerstörungsfrei bestimmt werden kann. Mit dem Dünnschichtsensor FTR kann speziell die Dickenmessung transparenter dünner Schichten und Schichtsysteme durchgeführt werden. Der FTR-Dünnschichtsensor basiert auf der spektral aufgelösten Reflexionsmessung und einer hochentwickelten Auswertesoftware. Bei Materialien, die für sichtbares Licht opak, für Infrarotstrahlung aber transparent sind, macht FRT mit dem IRT Dickenmessung möglich. Der IRT ist ein interferometrischer Schichtdickensensor mit Infrarotlichtquelle, der speziell für die Messung der Dicke von Produkten entwickelt wurde, die im nahen Infrarotlicht transparent sind.

Falls die hohe Ortsauflösung des optischen Sensors nicht ausreicht kann ein Rasterkraftmikroskop (AFM) integriert werden. Das AFM ermöglicht Topographiemessungen mit sub-nm Auflösung. Wir bieten auch ein AFM an, das wie ein normales Objektiv auf Ihr Lichtmikroskop montiert werden kann, um die Auflösung und die Messmöglichkeiten Ihres Gerätes zu erweitern.

Konnten wir Sie mit unserem modularen Multi-Sensor-Konzept überzeugen? Haben Sie Fragen zu einzelnen Sensoren oder Messprinzipien? Wir antworten gerne.

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