MICROPROF® MHU

Highlights MicroProf® MHU

  • Material Handling Unit mit Doppelarm-Roboter
  • hoher Durchsatz , bis zu 220 w/h
  • Ladestation für offene Kassetten
  • OCR Reader / Pre-Aligner
  • Sorting-Funktion zur Sortierung von guten und schlechten Proben
  • optionale SECS/GEM Schnittstelle

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Für viele industrielle Anwendungen ist es notwendig, Messungen vollautomatisch mit hohen Durchsatzraten durchzuführen. Zu diesem Zweck ist ein automatisches Handling der Proben erforderlich. Der MicroProf® MHU ist speziell für die Halbleiter-, MEMS- und LED-Industrie konzipiert und lässt sich problemlos für verschiedene Proben- (Wafer-) Typen konfigurieren. Die Handling-Einheit ist in der Lage, Wafergrößen von 2 bis 12 Zoll zu verarbeiten. Je nach Konfiguration können bis zu 4 Kassetten gleichzeitig prozessiert werden.

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Beidseitige Messung (TTV)

Sowohl das Tischgerät als auch die Standalone-Systeme der MicroProf®-Serie beinhalten die Option für die zweiseitige Probenprüfung. Dies ermöglicht die gleichzeitige Messung der Ober- und Unterseite der Probe und die Bestimmung der Probendicke. So kann die  Gesamtdickenvariation (TTV) der Probe zusammen mit Oberflächenparametern, z.B. Rauheit, Welligkeit und Ebenheit beider Seiten bestimmt werden. Die TTV-Option kann vor Ort leicht nachgerüstet werden.

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