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Die standardisierten vollautomatischen Wafer-Metrologie-Messgeräte - FE, FS, AP und DI
Die standardisierten vollautomatischen Wafer-Metrologie-Messgeräte - FE, FS, AP und DI - kombinieren die Fähigkeiten des weltweit etablierten MicroProf® 300 mit einem Wafer-Handlingsystems innerhalb eines Equipment Front End Moduls (EFEM). Mit vollständig SEMI-kompatiblen Messtechniklösungen und nahezu wartungsfreien Hardwarekomponenten ist der MicroProf® mit EFEM für jede Halbleiter Front-End-Fab (FE), für eine Vielzahl von Anwendungen in der Silicon Wafer Foundry (FS), für Anwendungen bei verschiedenen 3D-Packaging-Prozessschritten (AP) oder für umfassende Inspektionsanwendungen (DI) konfigurierbar.
Der MicroProf® FS ist ein vollautomatisches Wafer-Messgerät, das für eine breite Palette von Anwendungen in der Wafer Foundry oder der MEMS Fab konfigurierbar ist und sowohl standardisierte als auch kundenspezifische Lösungen einsetzt. Mit seiner enormen Vielseitigkeit wird der MicroProf® FS zu einem echten "Alleskönner" in der hochmodernen Foundry. Deshalb nennen wir ihn auch den Foundry Star!
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