MicroProf® Serie

3D Oberflächenmesstechnik -
schnell, flexibel, präzise und berührungslos

Der FRT MicroProf® - Individuelle Lösungen mit einem etablierten Produkt.
Mit der dritten Generation von Multi Sensor Oberflächenmessgeräten steht die FRT an der Spitze des Marktes. Unsere Kunden arbeiten mit etablierter und hundertfach bewährter FRT Technologie. Gleichzeitig bieten die perfekte Modularität unseres Maschinenbaus und die überragende Breite an aktuellster Metrologie die individuelle Anpassung an die spezifischen Aufgaben unserer Kunden. Natürlich immer entsprechend der jeweiligen Standards und je nach Bedarf voll automatisiert.

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Highlights

  • Multi-Sensor-Technologie
  • Hybride Metrologie
  • Auflösung bis in den sub-nm Bereich
  • hohe  Zuverlässigkeit und Reproduzierbarkeit
  • Messung nach DIN-EN-ISO, SEMI und weiteren Normen
  • manuell, automatisiert oder vollautomatisiert
  • jederzeit vor Ort erweiterbar

MicroProf® 100

Das Tischgerät, wenn wenig Platz ist

MicroProf® 200

200 mm Stand-Alone Gerät, weltweit der Standard

MicroProf® 300

300 mm Stand-Alone Gerät, kann einfach etwas größer

MicroProf® MHU

Material Handling Unit, da wissen Sie immer, wer heute auflegt

MicroProf® FS

Der Allrounder für MEMS und Foundry 

MicroProf® FE

Der Spezialist für Ihre Front End Anwendungen

MicroProf® TL

Heiße Sache: Messen unter thermischer Belastung