MicroProf®-SERIE

3D Oberflächenmesstechnik -
schnell, flexibel, präzise und berührungslos

Mit der dritten Generation der MicroProf®-Geräteserie steht die FRT mit ihren Multi-Sensor Oberflächenmessgeräten an der Spitze des Marktes.
Der MicroProf® ermöglicht es, vielfältige Messaufgaben schnell, effizient und intuitiv durchzuführen. Als etabliertes Standardmessgerät in der modernen 3D-Oberflächenmesstechnik beeindruckt der MicroProf® seit vielen Jahren unsere Kunden. Die Geräte sind vielfältig einsetzbar, wie zum Beispiel in der Halbleiter-, Medizin- und Automobilindustrie. Aber auch in den Branchen MEMS/NANO/MST, Saphir, Photovoltaik, Maschinenbau, Optik und Verpackungstechnik sind sie zuhause.

Highlights

Multi-Sensor-Technologie
Hybride Metrologie
Auflösung bis in den sub-nm Bereich
hohe Zuverlässigkeit und Reproduzierbarkeit
Messung nach DIN-EN-ISO, SEMI und weiteren Normen
manuell, automatisiert oder vollautomatisiert
jederzeit vor Ort erweiterbar

Multi-Sensor-Technologie

Ob Sie die Topographie, die Gesamtdicke oder die Schichtdicke Ihrer Proben berührungslos messen möchten, der vielseitige MicroProf^® kann aufgrund der bewährten optischen Multi-Sensor-Technologie universell eingesetzt werden. Verschiedene optische Messmethoden, die anderswo nur als individuelle Lösungen verfügbar sind, wurden zu einem universellen, Platz sparenden Gerät zusammengefasst. Je nach Ihren Anforderungen ermöglicht Ihnen der MicroProf^® eine schnelle Übersichtsmessung über die gesamte Probe, sowie hoch aufgelöste Detailmessungen bis in den sub-nm Bereich. Dies wird durch die beliebige Kombinierbarkeit der Sensoren ermöglicht. Behalten Sie Flexibilität für Ihre zukünftigen Messungen und rüsten Sie Sensoren bei Bedarf einfach und schnell nach, sparen Sie Platz, Zeit und Kosten.

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