MicroProf^® SERIE

Moderne optische Oberflächenmesstechnik - schnell, flexibel, präzise und berührungslos

Die optischen Metrologiegeräte basieren auf der flexiblen Multi-Sensor-Technologie und bieten eine sehr stabile Plattform in der dritten Generation. Vielfältige Messaufgaben können Sie mit dem MicroProf^® intuitiv, schnell und effizient durchführen. Als weltweit etabliertes Messgerät beeindruckt der MicroProf^® seit vielen Jahren Anwender aus verschiedenen Branchen. Kennen Sie den MicroProf^® auch schon? Seine Flexibilität ermöglicht den Einsatz in der Halbleiter-, MEMS/NANO/MST-, Optik- und Automobilindustrie, sowie in den Branchen Saphir, Photovoltaik, Maschinenbau und Verpackung.

Erfahren Sie mehr über unsere manuellen Modelle der MicroProf^®-Serie.

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Highlights

Multi-Sensor-Technologie und Hybride Metrologie
stabile Platform in der dritten Generation
Auflösung bis in den sub-nm Bereich
hohe Zuverlässigkeit und Reproduzierbarkeit
Messung nach DIN-EN-ISO, SEMI und weiteren Normen
manuell, automatisiert oder vollautomatisiert
jederzeit vor Ort erweiterbar

Multi-Sensor-Technologie

Ob Sie die Topographie, die Gesamtdicke oder die Schichtdicke Ihrer Proben berührungslos messen möchten, der flexible MicroProf^® kann aufgrund der bewährten optischen Multi-Sensor-Technologie universell eingesetzt werden. Verschiedene optische Messmethoden, die anderswo nur als individuelle Lösungen verfügbar sind, wurden zu einem kompakten Gerät zusammengefasst. Schnelle Übersichtsmessungen über die gesamte Probe und hochaufgelöste Detailmessungen bis in den sub-nm Bereich sind möglich dank der Kombinierbarkeit der verschiedenen Sensoren. Bleiben Sie auch für Ihre zukünftigen Messungen felxibel, rüsten Sie Sensoren bei Bedarf einfach und schnell nach.

Verschaffen Sie sich nun einen Überblick über alle MicroProf^®-Modelle und lernen Sie mehr über die einzelnen Geräte und deren Unterschiede.