13.06.2017

Wenn es schnell gehen muss: Der FRT SLS

Der FRT SLS ist ein schneller optischer Liniensensor für Anwendungen, bei denen hohe Messgeschwindigkeiten gefordert sind. Typische Messaufgaben sind Ermittlung der 3D-Topographie, Stufenhöhen, Rauheit, Ebenheit, sowie Struktur und Kontur von Proben.

Er arbeitet nach dem Prinzip der chromatischen Abstandsmessung. Anstelle eines einzelnen Messflecks bildet dieser Sensor 192 Messflecke, die äquidistant entlang einer Linie aufgereiht sind, ab. Auf diese Weise wird für jeden Messpunkt ein Abstandswert mit einer Auflösung im nm-Bereich generiert. Der chromatische Effekt wird mit Hilfe spezieller Messköpfe erzeugt, die aufgrund ihrer optischen Eigenschaften den z-Messbereich des Sensors festlegen. Die Messköpfe können über Schraubverbindungen ausgetauscht werden, dadurch ist es möglich ein Sensor mit unterschiedlichen Messköpfen und somit verschiedenen Messbereichen zu verwenden. Das Messverfahren eignet sich sowohl für hoch reflektierende als auch raue bzw. dunkle Proben und ist somit vielseitig einsetzbar. Aufgrund der Linienanordnung der Messpunkte ist es mit diesem Verfahren möglich, beim Scannen entlang einer hierzu senkrecht ausgerichteten Messrichtung unmittelbar eine 3D-Messung zu erzeugen.

Bei Messraten von bis zu 2 kHz wird somit das Abrastern eines Messobjekts in einem Bruchteil der bei Punktsensoren üblichen Zeit ermöglicht – bei Datenraten von bis zu 384.000 Messwerten pro Sekunde. So kann z.B. eine vollständige Bumpkontrolle auf einem 12 Zoll Wafer in bis zu 20 Minuten durchgeführt werden. Hierbei werden Koplanarität, Bumphöhe und Bumpdurchmesser automatisch bestimmt und ausgegeben. Im Vergleich dazu würde die gleiche Messung mit einem einzigen CWL Punktsensor mehr als 2 Tage dauern.

Nutzen Sie diesen Sensor in einem FRT Multi-Sensor Messgerät.

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