18.09.2018

Part 4/5: Software Paket zur Overlay-Messung

SERIE Acquire Automation XT – FRT’s Powerful Multi Sensor Software

Heutzutage besteht die 3D-IC-Produktion aus einer Abfolge von Schritten, bei denen unter anderen häufig eine neue Materialschicht auf die bestehende Struktur aufgebracht wird. Auf diese Weise werden Transistoren, Kontakte usw. sowohl in der Fläche als auch vertikal aufgebaut. Fehlausrichtungen jeglicher Art können zu Kurzschlüssen und Verbindungsfehlern führen. Damit das Endprodukt richtig funktioniert, müssen diese einzelnen Strukturen mit höchster Genauigkeit ausgerichtet werden.

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Part 1/5: Hybride Messtechnik zur schnellen und zuverlässigen Bestimmung von nicht zugänglichen Parametern

Part 2/5: Software Paket „Linsenform“

Part 3/5: Neuer „Schichtmodus“ für Bildfeldsensoren

Part 5/5: Jetzt noch mehr Möglichkeiten im Grundpaket

Ein neues Softwarepaket für Acquire Automation XT bietet die vollautomatische Messung und Analyse des Overlay-Offsets in x- und y-Richtung sowie der Rotation von Mikrostrukturen. Die Funktion kann sowohl auf hochauflösende Kamerabilder als auch auf FRT Bildfeldsensoren wie dem CFM (DT) angewendet werden. Diese Softwarefunktion in Kombination mit der leistungsstarken Sensorlinie von FRT hilft den Herstellern moderner 3D-IC-Bauteile, ihre Prozesse zu verbessern und die Produktionsausbeute zu steigern.

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