11.12.2018

Schnelle, berührungslose Oberflächenmesstechnik bei der Herstellung von Large-Area-Elektronik

Large-Area-Elektronik ist eine neue Art, Elektroniken mit Hilfe von Tieftemperaturverfahren wie Bedruckung und Beschichtung herzustellen. Es werden völlig neue Elektronikprodukte wie druckbare, flexible oder organische Elektroniken realisiert, die bisher nicht möglich waren: flexible Module oder Displays, Solarzellen auf Folien, medizinische Diagnosegeräte in der Kleidung oder sogar zum Aufkleben auf die Haut. OLEDs (organische lichtemittierende Dioden) finden sich bereits in Smartphone-Leuchten oder Displays. Die ersten Fernseher mit OLEDs sind auf dem Markt, und es wurden unzerbrechliche Kunststoffdisplays angekündigt. In den nächsten Jahren wird die organische Elektronik die siliciumbasierte Elektronik mit vielen neuen Anwendungen oder umweltfreundlicheren Produkten ergänzen. So verschieden die Einsatzgebiete von Large-Area-Elektroniken, sind auch die Messaufgaben, die es in ihrer Fertigung zu lösen gilt.

FRT bietet optische Oberflächenmesstechnik für Large-Area Elektronik in Forschung und Entwicklung, Produktionskontrolle oder Qualitätssicherung. Mit den 3D-Oberflächenmessgeräten der bewährten MicroProf®-Serie können Flächenmessungen sowie Einzel- und Mehrfachprofile berührungslos aufgenommen werden. Ein automatisiertes Mapping der Proben sowie eine automatisierte Auswertung und Berichterstellung der Messungen sind möglich. Die Rauheit auch auf transparenten Schichten kann bis in den Sub-Nanometer-Bereich bestimmt und Topographiemessungen der Probenoberfläche durchgeführt werden.

Die MicroProf®-Systeme bieten auch die Möglichkeit der doppelseitigen Probenprüfung. Dies ermöglicht die gleichzeitige Messung der Ober- und Unterseite der Probe und damit die Bestimmung der Probendicke. Somit kann die Gesamtdickenvariation (TTV) der Probe zusammen mit Oberflächenparametern wie Rauheit, Ebenheit und Parallelität beider Oberflächen bestimmt werden.

Speziell für Large-Area-Elektroniken bieten wir die MicroProf®-Serie mit einer Thermoeinheit an. Mit einer voll integrierten Heiz- und Kühlstufe kann das Probenverhalten unter Arbeitsbedingungen bestimmt und verschiedene Prozessschritte simuliert werden.

Eine weitere Anwendung von FRT-Messsystemen ist die Dickenbestimmung von Beschichtungen, z.B. transparenten Isolier- und Schutzschichten, in Form von einzelnen dünnen Schichten oder Schichtstapeln. Schichtdicken bis zu mehreren Nanometern können bestimmt werden, wobei die vertikale Auflösung im Sub-Nanometer-Bereich liegt. Mit der MicroProf®-Serie ist eine 100%ige Prüfung nach jedem Prozessschritt möglich. Mit seiner hohen Flexibilität und Universalität, die sich aus dem modularen Multi-Sensor-Konzept ergibt, ist der MicroProf® ideal geeignet, um eine Vielzahl von Messaufgaben in einem Messgerät durchzuführen. Mit dem MicroProf® können Sie mit dem schnellen Fortschritt von Large-Area-Elektroniken Schritt halten und die Investitionskosten schnell amortisieren.

Zögern Sie nicht, uns zu kontaktieren, wenn Sie Fragen haben. Unsere Experten helfen Ihnen gerne bei der Lösung Ihrer Messaufgaben, indem sie für Sie die bestmögliche Systemkonfiguration zusammenstellen.