03.04.2018

MicroSpy® Topo DT – Konfokalmikroskop mit Weißlicht- und Phase-Shift-Interferometrie

Mit dem MicroSpy® Topo DT bietet FRT ein innovatives 3D-Messmikroskop an, das für viele Oberflächen – von sehr glatt bis rau – den optimalen Messmodus bereitstellt. Möglich wird dies durch die Kombination von konfokaler Technologie mit der Weißlicht- und Phase-Shift-Interferometrie in einem Gerät. Alle Modi arbeiten berührungslos, flächenhaft, hochaufgelöst und liefern binnen weniger Sekunden aussagekräftige Messergebnisse. Zum Ein­satz kommt das Oberflächenmessgerät insbesondere bei Anwendern in der Forschung, in der Produktentwicklung sowie in der begleitenden Produktionskontrolle.

Die Stärke des interferometrischen Phase-Shift- Modus liegt in der großflächigen Erfassung selbst minimal strukturierter Probenoberflächen, wobei die Höhenstrukturen mit sub-Nanometer Auflösung gemessen werden. Die maximale vertikale Auflösung ist dabei unabhängig von der Größe des Bildfelds und der Apertur des eingesetzten Objektivs. Das Verfahren ist in der Lage, in weniger als 10 Sekunden ein Bildfeld von bis zu 7,1 mm x 5,3 mm zu erfassen, indem das Objektiv schrittweise in axialer Richtung um einen Teil der Lichtwellenlänge verschoben wird. Anschließend werden die generierten Interferenzbilder zu einer 3D-Topographie verrechnet. Diese ist Ausgangspunkt für weitere hochpräzise Geometrie-, Rauheits-, Volumen- und Flächenanalysen am Messcomputer.

Beim Weißlichtinterferometrie-Modus wird das Objektiv ebenfalls schrittweise in der Höhe verschoben. Ausgewertet wird jedoch der maximale Interferenzkontrast der jeweiligen Fokusebene, sodass sich das Verfahren im Gegensatz zur Phase-Shift-Interferometrie auch für stärker strukturierte Oberflächen eignet. Die grundlegenden Vorteile der interferometrischen Messung, wie die variable Messfeldgröße ohne Auflösungsverlust und die hohe Messgeschwindigkeit, bleiben voll erhalten.

Der Vorteil des konfokalen Mikroskops liegt in der Möglichkeit, auf eine große Auswahl an hochwertigen Objektiven zurückgreifen zu können, die ursprünglich für die Lichtmikroskopie entwickelt wurden. Damit kann je nach Anforderung auf Kriterien wie z.B. einen hohen Arbeitsabstand mit einem Long-Distance Objektiv eingegangen werden. Dieses wird einfach am integrierten Objektivrevolver eingeschraubt (bis zu sieben Objektive mit automatisiertem Objektivrevolver) und kann bei Bedarf durch einfaches Drehen schnell und komfortabel ausgewählt werden.

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