17.04.2018

MicroProf® 200 – Ein Messgerät für alle Oberflächen

Vielfältige Anwendungen und Anforderungen in der täglichen industriellen Praxis erfordern flexible Lösungen. Mit seinem modernen und bedienfreundlichen Industriedesign trägt der MicroProf® 200 den dadurch bedingten Anforderungen mehr denn je Rechnung und setzt die bewährte Multi-Sensor Technologie von FRT mit hohem Kundennutzen konsequent fort. Die neuste Generation des MicroProf® 200 ist ausgestattet mit einem größeren Verfahrbereich des Scantischs, einer höheren Scangeschwindigkeit, einer serienmäßigen Schwingungsdämpfung sowie einer produktionstauglichen Umhausung mit Bedienpult und Monitorarm.

Die FRT Multi-Sensor Technologie bietet Ihnen die Möglichkeit, unterschiedliche Messprinzipien in einem Gerät zu vereinen und ermöglicht somit maximale Flexibilität: Eine hochauflösende Farbkamera garantiert das schnelle Auffinden und Definieren der Messstellen. Für die Messung von Topographie und Schichtdicke kann der MicroProf® 200 mit verschiedenen Sensoren ausgestattet werden. Um den individuellen Messbedarf der Kunden abzudecken bietet FRT dazu eine große Auswahl an Punkt-, Flächen- und Schichtdickensensoren und sogar ein Rasterkraftmikroskop (AFM), die jeweils voll in das System integriert sind und flexibel angeordnet und kombiniert werden können. Die Möglichkeit, Sensoren nachzurüsten, eröffnet Ihnen ebenso weiteren Spielraum für die flexible Anpassung an zukünftige Messaufgaben wie die individuellen und auswechselbaren Probenhalter.

Der MicroProf® 200 kann optional zur beidseitigen Probeninspektion genutzt werden. So können beispielsweise bei Produkten wie Wafern, optischen Linsen, Dichtungen und anderen Bauteilen durch gleichzeitiges Messen von oben und unten die Probendicke sowie die Rauheit und Kontur auf beiden Seiten charakterisiert werden. Das Gerät kann sogar beim Kunden nachträglich auf TTV-Messtechnik nach den gültigen SEMI-Standards aufgerüstet werden. Dabei wird ein zweiter CWL-Sensor integriert, der die zu messenden Bauteile simultan zur laufenden Messung von der Unterseite vermisst. Durch die hohe Messrate von 4 kHz des standardmäßig eingesetzten CWL-Topographiesensors werden schnelle Messzeiten mit bis zu 300 mm/s erreicht.

Mit der MicroProf® 200 Gerätesoftware können Sie die 2D- oder 3D-Messung Ihrer Bauteile steuern, sowie die Messdaten analysieren und protokollieren. Die im Hause FRT entwickelte Software ermöglicht neben manuellen Messungen auch die einfache Automatisierung von Messabläufen. Verschiedene Messpositionen an einzelnen Bauteilen, aber auch mehrere gleichartige Proben, die in einem Halter auf dem Messtisch platziert sind, können so in einem Messdurchgang untersucht werden. Die Messrezepte können Sie mit der genormten und leicht verständlichen Benutzeroberfläche einfach und softwareunterstützt ohne Programmierkenntnisse erstellen. Die Auswertung der Messdaten erfolgt unter Einbeziehung der aktuellen Normen. Des Weiteren kann das Oberflächenmessgerät beim Kunden vor Ort durch ein komplettes Waferhandling-Modul zur automatischen Beladung (MHU) nachgerüstet und so der Durchsatz nochmals gesteigert werden.

Bei der Entwicklung des MicroProf® 200 Designs standen die Flexibilität, Erweiterbarkeit, einfache Bedienung, Ergonomie, ein gutes Kosten-Nutzen-Verhältnis sowie eine hohe Kundenzufriedenheit im Vordergrund. Damit steht Ihnen das derzeit leistungsstärkste, universell einsetzbare Messgerät für die berührungslose, zerstörungsfreie und präzise Charakterisierung von nahezu allen Oberflächen zur Verfügung. Kurze Messzeiten, sowohl kleine als auch große Messbereiche, die robuste, flexible Bauweise, sowie die einfache und intuitive Bedienung zeichnen das Gerät aus. Statt mehrere unterschiedliche Messgeräte zu bedienen, können Sie mit dem MicroProf® 200 viele verschiedene Messaufgaben wie die Bestimmung der Rauheit, Schichtdicke oder Topographie mit nur einem Gerät erledigen.

Nutzen Sie die langjährige Erfahrung von FRT im Bereich der Oberflächenmesstechnik, die im MicroProf® 200 umgesetzt ist und mit der wir Sie vor und nach dem Gerätekauf professionell unterstützen.

Wir haben sicher auch eine Lösung für Ihre spezifische Aufgabe. Zögern Sie nicht uns bei Fragen zu kontaktieren. Unsere Experten werden sich gerne um Ihr Anliegen kümmern und individuelle Lösungen für Sie ausarbeiten.