18.12.2018

Hochgenaue Ebenheit an großen Proben feststellen

Funktionelle Strukturen und die Bauteile, auf die sie aufgebracht werden, unterliegen immer geringeren Fertigungstoleranzen. Zudem werden die Bauteile immer größer. Mit dem MicroGlider® 600 stellt FRT ein multisensorfähiges Oberflächenmessgerät vor, das beiden Anforderungen gerecht wird und für den Einsatz in Forschung und Entwicklung gleichermaßen geeignet ist wie für fertigungsbegleitendes Prüfen in der Produktion.

Der MicroGlider® 600 ist dafür konstruiert, große Proben hochgenau auf ihre Oberflächeneigenschaften zu untersuchen, und zwar berührungslos und zerstörungsfrei. Ein Highlight des FRT-Messgerätes ist der 600 x 600 mm große Positionierungstisch (bis zu 1,5 x 1,5 m auf Anfrage erhältlich). Durch seinen hochpräzisen, berührungslosen Antrieb mit Linearmotoren und eine ausgeklügelte Luftlagerung ermöglicht er höchste Messgenauigkeit und ein deutlich verringertes Höhenrauschen (100 nm auf 600 mm Verfahrweg) als bei mechanisch gelagerten Achsen. Dadurch eignet sich der MicroGlider® 600 besonders für schnelle, hochauflösende Ebenheitsmessungen an großen Flächen, wie zum Beispiel Substraten für die Halbleiter-, MEMS- und Solarindustrie.

Je nach Anzahl der Messpunkte bestimmt der MicroGlider® 600 Ebenheits- und Oberflächendaten wesentlich schneller und präzisier als herkömmliche One-Shot-Verfahren (z.B. Interferometer). FRT bietet die MicroGlider®-Plattform mit verschiedenen Sensoren, unterschiedlichen Tischgrößen sowie leistungsfähiger Software an. Durch seine Multifunktionalität kann der MicroGlider® 600 durch Ergänzung oder Auswechseln der Sensoren an veränderte Aufgabenstellungen mit nur wenigen Handgriffen angepasst werden. Durch verschiedene optische Sensoren können auch hochpräzise Messungen hinsichtlich Stufenhöhe, Rauheit, Welligkeit und anderen 2D- und 3D-Messparametern problemlos durchgeführt werden. Das System lässt sich in bestehende Produktionsabläufe z.B. als One-Button-Lösung integrieren.

Die Einsatzgebiete und die Anzahl der relevanten Branchen für den MicroGlider® 600 sind weit gefächert. In der Halbleiter- und MEMS-Fertigung wird das System zur Untersuchung der Ebenheit von großen Wafern eingesetzt. Unebenheiten würden im späteren Produktionseinsatz zu Verkippungen und zu fehlerhaften Strukturen im Lithographieprozess führen (sog. Out-of-Focus-Problem). Das maximale Probengewicht von 50 kg beim MicroGlider® 600 ermöglicht neben der Untersuchung leichter Wafer zudem die Vermessung von schweren Bauteilen wie z.B. metallgefertigten Waferhaltern, den so genannten Wafer Chucks, Bauteilen aus dem Maschinenbau, sowie aus der Automobil- und Optikindustrie.

Zögern Sie nicht, uns zu kontaktieren, wenn Sie Fragen haben. Unsere Experten helfen Ihnen gerne bei der Lösung Ihrer Messaufgaben, indem sie für Sie die bestmögliche Systemkonfiguration zusammenstellen.