05.12.2017

Die MicroGlider® Serie – sensationell sensitiv

In praktisch allen Bereichen der industriellen oder manuellen Fertigung spielt die Beschaffenheit von Oberflächen eine zentrale Rolle. Ob ein Werkstoff für seine spätere Verwendung optimal ist, kann man nicht der Erfahrung überlassen. Zum Beispiel bei der Herstellung von optischen oder medizintechnischen Komponenten kann das fatale Folgen haben. In solchen Fällen müssen Messgeräte eingesetzt werden, die ultimative Präzision garantieren: der MicroGlider®.

Fundierte Analysen der Beschaffenheit von Oberflächen werden durch eine Kombination vieler unterschiedlicher Methoden erzielt. Für jedes einzelne Verfahren gibt es spezielle Messgeräte, und für jede neue Messtechnik muss in ein neues Gerät investiert werden. Oder gleich in den MicroGlider®, den das heißt Messen mit System. Der MicroGlider® wurde für den universellen Messeinsatz bei Oberflächen aller Art entwickelt. Er basiert auf der bewährten FRT Multi-Sensor Technik und ist für den Einsatz in Forschung und Entwicklung gleichermaßen geeignet wie für fertigungsbegleitendes Prüfen in der Produktion. Durch seine Multifunktionalität kann der MicroGlider® durch Ergänzung oder Auswechseln der Sensoren an veränderte Aufgabenstellungen mit nur wenigen Handgriffen angepasst werden kann.

Der MicroGlider® 600 ist dafür konstruiert, große Proben berührungslos und zer­störungsfrei, hochgenau hinsichtlich verschiedenster Oberflächeneigenschaften zu untersuchen. Der große, luftgelagerte Positioniertisch (600 mm x 600 mm) und der berührungslose Antrieb mit Linearmotoren ermöglichen höchste Mess­genauigkeit und ein deutlich verringertes Höhenrauschen als bei mechanisch gelagerten Achsen. Dadurch eignet sich das FRT Oberflächenmessgerät insbesondere für schnelle, hochauflösende Ebenheitsmessungen an großen Flächen, wie zum Beispiel Glassubstraten für die Halbleiter-, MEMS- und Solarindustrie. Durch verschiedene optische Sensoren können auch hochpräzise Messungen hinsichtlich Stufenhöhe, Rauheit, Welligkeit und anderen 2D- und 3D-Messparametern problemlos durchgeführt werden. Die hohe Messdynamik des Geräts kommt insbesondere in der Kombination mit dem optionalen Rasterkraftmikroskop zum Tragen. Dann können mit ein und demselben Gerät Messbereiche von wenigen μm bis zu hunderten mm mit bis zu nm-Auflösung erfasst werden. Das System lässt sich in bestehende Produktionsabläufe z.B. als One Button-Lösung integrieren.

Der MicroGlider® 500R eignet sich speziell für die berührungslose Messung von rotationssymmetrischen Bauteilen. Dank des optischen Messverfahrens werden Prüflinge, wie z.B. Ventilsitze oder Dichtungen, zerstörungsfrei und schnell untersucht. Die exzellente Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit der Messergebnisse werden durch einen luftgelagerten Präzisions-Rotationstisch sichergestellt, der mit einer innovativen, selbstzentrierenden Probenhalterung ausgestattet ist. Mit dem MicroGlider® 500R können große und schwere Bauteile (bis zu 20 kg) mit hoher Genauigkeit und Geschwindigkeit gemessen werden. Als Messmodi stehen sowohl ein interaktiver als auch ein automatischer Mess- und Auswertemodus zur Verfügung, bei dem vorkonfigurierte Prüfprogramme auf Knopfdruck gestartet werden können.

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