16.07.2019

Multitalent für die MST Produktionskontrolle

Optische Oberflächenmetrologie erfüllt anspruchsvolle messtechnische Anforderungen

In der Mikrosystemtechnik spielt die präzise Messung von Oberflächen eine zentrale Rolle. Die Bauteile müssen zerstörungsfrei und mit hoher Auflösung charakterisiert werden. Die relevanten Größen sind Rauheit, Kontur, Struktur oder Schichtdicke, da das Finish einzelner funktionaler Flächen am Bauteil (z.B. in der Mikrofluidik) ebenso wichtig ist, wie die Profile spezieller Strukturen (etwa Kanäle für Glasfasern) oder die Geometrie des gesamten Bauteils (z.B. Mikrostecker). Ebenso sind Rauheit und Welligkeit quantitativ auszuwerten. Die Analyse von Strukturen und Rauheit der Oberfläche muss Nanometerauflösung erreichen.

Die FRT GmbH stellt innovative optische Multi-Sensor-Oberflächenmessgeräte für die MST und Mikroelektronik her. Die Geräte der MicroProf® Serie können mit unterschiedlichen Sensoren ausgestattet werden und erlauben die Auswertung und Darstellung von Rauheit, Kontur, Topographie und Schichtdicke von Oberflächen im Profil oder in 3D. Die optischen Sensoren dieser Geräte erlauben eine berührungslose und zerstörungsfreie Untersuchung der Oberflächenstruktur mit schneller Datenübertragung und hoher Abtastrate. Um alle Größenbereiche abzudecken, können die Geräte von FRT optional mit einem Rasterkraftmikroskop (AFM) bestückt werden. So werden Messungen vom Nanometer bis zum Meter in einem Gerät möglich.

Durch die sehr einfache und intuitive Bedienung, die schnellen Messzeiten und die optionale Automatisierung sind die Geräte ideal für die Produktion geeignet. Zudem sind die Messgeräte in kompletter Umhausung lieferbar und sind so neben dem Messraum auch direkt in der Produktion bei der Werkerselbstkontrolle oder der direkten Prozessüberwachung zu Hause.

Zögern Sie nicht, uns zu kontaktieren, wenn Sie Fragen haben. Unsere Experten helfen Ihnen gerne bei der Lösung Ihrer Messaufgaben, indem sie für Sie die bestmögliche Systemkonfiguration zusammenstellen.

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