27.06.2017

Messen von nicht zugänglichen Parametern – FRT hat die passende Lösung: Hybrid-Metrologie

Halbleiter, MST/MEMS/Nano, Saphir/LED, Photovoltaik, Automotive, Maschinenbau, Medizintechnik, Optik, Verpackungen… – das Anwendungsgebiet für 3D-Oberflächenmessgeräte ist riesig und vergrößert sich stetig mit neuem Bedarf und Anwendungen. Doch auch die Bauteile und Messaufgaben werden immer komplexer, so können bestimmte Messaufgaben nicht von einem Sensor alleine gelöst werden, da die gewünschten Parameter nicht direkt zugänglich sind. Auch die Multi-Sensor Anordnung alleine hilft hier nicht weiter. Doch auch hierfür bietet FRT die passende Lösung: Hybrid-Metrologie.

Aufgrund des von uns verfolgten Multi-Sensor Konzeptes können die 3D-Oberflächenmessgeräte der bewährten MicroProf® Serie, sowohl mit Punkt- und Flächensensoren zur Topographiemessung, als auch mit Schichtdickesensoren, ausgestattet werden. Dadurch bietet sich die Möglichkeit mit unterschiedlichen Sensoren eine Messaufgabe zu lösen, indem jeder Sensor eine Messung durchführt und die verschiedenen Ergebnisse kombiniert werden. Der entscheidende Schritt ist nun, dass das Messgerät, bzw. das benutzte Rezept, die komplette Messaufgabe kennt und vollständig umsetzt. D.h. nicht nur die Messungen mit allen notwendigen Sensoren werden automatisiert erledigt, sondern die Software nimmt auch die unterschiedlichen Messergebnisse auf und errechnet daraus die gewollten Parameter. Ein Beispiel für eine Anwendung der Hybrid-Metrologie ist hier exemplarisch dargestellt.

Das vorliegende Schichtsystem befindet sich auf einem Wafer und besteht aus einem undurchsichtigen Siliziumsubstrat, einer darüber liegenden transparenten Oxidschicht und in einem begrenzten Bereich darüber liegender undurchsichtigen Kupferschicht. Um die Dicke der Kupferschicht zu bestimmen misst man mit einem Topographiesensor die Dicke der Kupferschicht inklusive der transparenten Oxidschicht. Des Weiteren misst man mit einem Schichtdickensensor separat die Dicke der transparenten Oxidschicht. Durch Subtraktion der Oxiddicke von der zuvor ermittelten Gesamtdicke erhält man die gewünschte Stufenhöhe der Kupferschicht.

Wir haben sicher auch eine Lösung für Ihre spezifische Aufgabe. Zögern Sie nicht uns bei Fragen zu kontaktieren. Unsere Experten werden sich gerne um Ihr Anliegen kümmern und individuelle Lösungen für Sie ausarbeiten.