11.02.2020

IR-Mikroskop - 2D-Analyse durch IR-Transmissionsbilder

Das IR-Mikroskop erfasst Transmissionsbilder für die optische, berührungslose und zerstörungsfreie 2D-Analyse von Strukturen in nahinfraroten (NIR) transparenten Materialien. Typische Anwendungen sind die Analyse von versteckten Strukturen in Halbleiter- und Saphir-Wafern, Gläsern sowie Beschichtungen.

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Was kann das IR-Mikroskop?

Das IR-Mikroskop verfügt über eine besonders leistungsstarke Industriekamera mit einem hochempfindlichen 1,3 Megapixel CMOS-Sensor. Neben seiner hervorragenden NIR-Empfindlichkeit zeichnet sich der Sensor durch eine Reihe von Besonderheiten aus. Beispielsweise bietet der Sensor einen Rolling Shutter Modus für extrem rauscharme und kontrastreiche Bilder. Durch eine automatische Hotpixel-Korrektur werden defekte Pixel korrigiert. Die USB 3.0 Kamera bietet außerdem einen Bildspeicher von 128 MB und eine Bildrate von 60 fps bei voller Auflösung. Für die Probenbeleuchtung wird eine manuell einstellbare Kaltlichtquelle mit Halogenreflektorlampe, stufenloser Helligkeitsregelung und Glasfaserkabel verwendet.

Perfekt integrierbar ins Inspektionstool MicroProf® DI

Das innovative Beleuchtungskonzept des MicroProf® DI macht eine Vielzahl von Fehlertypen sichtbar und erkennt lokale Fehler, Einschlüsse und andere Defekte unabhängig von ihrer Position. MicroProf® DI verfügt über verschiedene, auf derselben Geräteplattform flexibel kombinierbare Module, die alle Waferoberflächen bei hohem Durchsatz für eine effiziente Prozesskontrolle abdecken. Die Module umfassen: optische Inspektion und Klassifizierung von Defekten über Singleshot- und Step-Modul, Review der Defekte über ein hochgenaues Mikroskop und umfassende Multi-Sensor Metrologie mit verschiedenen Topographie- und Schichtdickensensoren. Für die optische, berührungslose und zerstörungsfreie 2D-Analyse von im Wafer vergrabenen Strukturen und Einschlüssen stehen zusätzlich interferometrische Schichtdickensensoren mit Infrarotlichtquelle, sowie ein IR-Mikroskop zur Verfügung.

Mehr zum MicroProf® DI, lesen Sie hier.

Weitere passende Gerätetypen aus der MicroProf® Serie

Der Automatisierungsgrad reicht von Integration in manuell bedienbare Messsysteme, die automatisch vordefinierte Programme ausführen, bis hin zum vollautomatisierten Wafer-Handling einschließlich automatischer Vor- und Feinausrichtung. FRT-Systeme können für die Handhabung SEMI-konformer und nicht konformer Wafer, die oftmals in der MEMS-Industrie eingesetzt werden, konfiguriert werden.

Für Halbleiter-Anwendungen bietet FRT eine eigene Geräteklasse für die Reinraum-Fertigung. Diese Messsysteme können 200 mm und 300 mm Wafer in einem System verarbeiten (FOUP, SMIF und offene Waferkassetten sind möglich). Das enthaltene SEMI-konforme Softwarepaket ermöglicht eine interaktive oder automatisierte Nutzung, die einfache Erstellung von Mess- und Auswerterezepten sowie die Einbindung in vorhandene Fertigungssteuerungssysteme über die SECS/GEM-Schnittstelle.

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Ob Labor, Entwicklung, Qualitätssicherung oder Produktion – FRT bietet die passende Messtechnik für Ihre Anwendung. Unsere Experten helfen Ihnen gerne bei der Lösung Ihrer Messaufgaben, indem sie die bestmögliche Systemkonfiguration für Sie erstellen.

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