08.01.2019

Hauchdünne transparente Schichten verhindern Kratzer und minimieren Reflexion

Solche kratzfesten Beschichtungen kennen Sie alle, ob auf Kunststoffoberflächen oder Linsen. Neben funktionalen Beschichtungen werden auch Veredelungsschichten immer dünner, während die Ansprüche an die Qualität und Gleichförmigkeit steigen. Oder Schutz- und Isolierschichten auf Microelektronik?

Anwendungsbereiche

In der Medizintechnik, der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik, der Fertigung von Flat-Panel-Displays und OLED, der Glas- und Optikindustrie sowie vielen weiteren werden sehr dünne transparente Schichten eingesetzt. Diese sind meist Antireflexbeschichtungen oder kratzbeständige Hardcoats. Für die Funktionsfähigkeit sind die Dicke der Schicht und ihr Variation über der Fläche oft entscheidend.

Viel zu winzig fürs menschliche Auge

Nanometer sind so klein, dass es schwierig ist sich diese „Größe“ bewusst zu machen. Ein Nanometer verhält sich zu einem Meter wie der Durchmesser einer 1-Cent-Münze zu dem des Erdballs (Link: Hamburger Abendblatt).

Heutzutage sind in den meisten Fällen Schichtdicken im unteren Nanometerbereich zu messen. Um die bestmögliche Systemkonfiguration und den passenden Sensor für Ihre Anwendung auszuwählen, schicken Sie unseren Experten Proben für Testmessungen zu.

Die technische Lösung

Wir bei FRT bieten Ihnen spezielle Lösungen für die Qualitätsüberwachung von sehr dünnen transparenten Schichten. Die Messungen können auch automatisiert in den Produktionsprozess integriert werden. Mit der Kombination aus unseren optischen Oberflächenmessgeräten und dem FTR-Sensor, speziell für dünne Schichten optimiert, können Sie effektiv arbeiten und die Dicke der Schichten oder Ihre Variation über der Fläche bestimmen. Entscheiden Sie sich für den MicroProf® mit einem Dünnschichtsensor FTR.

Alle Messgeräte von FRT arbeiten berührungslos und zerstörungsfrei. Besonders bei empfindlichen Schichten ist das vorteilhaft. Der MicroProf® misst nach DIN-ISO und SEMI-Standards und mit hoher Verfahrgeschwindigkeit (max. 300 mm/s). Außerdem verfügt er über einen großen Messbereich von bis zu 415 mm x 305 mm. Bei Bedarf kann das Gerät vor Ort nachgerüstet werden, um z.B. vollautomatische Wafermessungen mit Probenhandling durchzuführen.

So funktioniert‘s

Der FTR-Dünnschichtsensor basiert auf der spektral aufgelösten Reflexionsmessung und einer hochentwickelten Auswertesoftware. Die Bestimmung der Dicke dünner Schichten mit dem FTR beruht auf der Überlagerung von Teilwellen, die an den Grenzflächen des dünnen Films reflektiert werden. Die Auswertung dieses spektralen Interferenzmusters mit FRT eigener Software liefert die Informationen zu der Schichtdicke des Films mit Nanometerauflösung. Die Ergebnisse werden erfasst, ausgewertet und letztlich visualisiert. Der FTR-Sensor beinhaltet auch eine umfangreiche, vom Anwender leicht zu ergänzende Datenbank mit Brechungs- und Absorptionsindex einer Vielzahl von Halbleitern, Oxiden, Gläsern, Metallen, Resists etc. Für die automatisierte Messung (Punktmessung, Linienprofil oder 3D-Mapping) können Rezepte zusammengestellt werden. Es werden mit dem FTR-Sensor eine hohe Auflösung, Genauigkeit und Wiederholbarkeit bei der Schichtdickenbestimmung erreicht.

Sie suchen nach weiteren Informationen? Diese finden Sie hier!

Sie haben weitere Fragen oder Anmerkungen? Dann kontaktieren Sie uns! Unsere Experten helfen Ihnen gerne bei der Lösung Ihrer Messaufgaben.