25.09.2018

Part 5/5: Jetzt noch mehr Möglichkeiten im Grundpaket

SERIE Acquire Automation XT – FRT’s Powerful Multi Sensor Software

Unser Bestreben, die hauseigene Bediensoftware unserer Geräte stetig zu verbessern, führt bei unserer Automatisierungssoftware Acquire Automation XT zu regelmäßigen Erweiterungen und neuen Möglichkeiten. Dies betrifft nicht nur die einzelnen Auswerte-Pakete, sondern auch das Grundpaket. Das erwartet Sie in der neuesten Version:

Manuelle Nachmessung von automatisch erzeugten Messergebnissen

Für einige Messarten innerhalb eines Rezepts wird diese neue Option unterstützt, mit der es möglich wird, eine Messung zu wiederholen. Sollte es im Rahmen eines automatisierten Messprozesses zu Ergebnissen kommen, die aus dem erwarteten Rahmen fallen (z.B. durch Pass/Fail Kriterien), besteht die Möglichkeit diese Ergebnisse auszuwählen und die Messungen an genau diesen Stellen mit den im Rezept genutzten Messeinstellungen zu wiederholen. Zusätzlich wird ein Dialog zur Verfügung gestellt, der die Anpassung der Messeinstellungen wie Sensorparameter oder Messposition für diese sog. “Nachmessung“ erlaubt. Für einen benutzerfreundlichen Ablauf verfügt der Dialog auch über ein Live-Kamerabild.

Interessiert an den neuesten Beiträgen dieser Serie? Jetzt informieren.

Part 1/5: Hybride Messtechnik zur schnellen und zuverlässigen Bestimmung von nicht zugänglichen Parametern

Part 2/5: Software Paket „Linsenform“

Part 3/5: Neuer „Schichtmodus“ für Bildfeldsensoren

Part 4/5: Software Paket zur Overlay-Messung

Durchführen einer Einzelmessung im Rezept

Im Rahmen der Rezepterstellung oder Modifikation bestehender Rezepte kann es hilfreich sein, einzelne Messungen manuell durchzuführen um zu testen, ob die eingestellten Mess- und Auswerteparameter zum gewünschten Resultat führen. Das spart Zeit bei der Rezepterstellung und ermöglicht die optimalen Einstellungen bestimmen zu können. Dies wird nun in der aktuellen Version von Acquire Automation XT unterstützt. Dabei können neben den eigentlichen Messaufgaben auch vorgelagerte Funktionen wie Fine-Alignment, Site-Alignment und TTV-Kalibrierung aus dem Rezept heraus gestartet werden.

Sight-Alignment mit Bildfeldsensoren

Wann immer hohe Positioniergenauigkeit auf feinstrukturierten Proben erforderlich ist, empfiehlt es sich dem obligatorischen Fine-Alignment noch ein “Sight-Alignment“ hinzuzufügen, das auf Basis einer Mustererkennungs-Routine die jeweilige Messstelle automatisch erkennt und im Fall eines Versatzes die xy-Position anpasst. Mit der neuesten Version von Acquire Automation XT kann diese Funktion nicht nur auf Kamera-Livebildern, sondern auch auf Messdaten von FRT Bildfeldsensoren (CFM, CFM DT, WLI PL, WLI FL) angewandt werden. Damit wird die Justage der Messposition mit einer lateralen Genauigkeit im sub-μm Bereich ermöglicht.

Wir haben sicher auch eine Lösung für Ihre spezifische Aufgabe. Zögern Sie nicht uns bei Fragen zu kontaktieren. Unsere Experten werden sich gerne um Ihr Anliegen kümmern und individuelle Lösungen für Sie ausarbeiten.