29.08.2017

FRT Metrologie – Das Beste für 2D und 3D

Mit dem MicroProf® von FRT lassen sich vielfältige Messaufgaben schnell, effizient und intuitiv durchführen. Als etabliertes Standardmessgerät in der modernen 3D-Oberflächenmesstechnik beeindruckt der MicroProf® seit vielen Jahren unsere Kunden zum Beispiel in der Halbleiter-, Medizin– und Automobilindustrie. Ob Sie die Topographie, die Probendicke oder die Schichtdicke Ihrer Proben berührungslos messen möchten, der vielseitige MicroProf® kann aufgrund der bewährten optischen FRT Multi-Sensor Technologie universell eingesetzt werden. Verschiedene optische Messmethoden, die anderswo nur als individuelle Lösungen verfügbar sind, wurden zu einem universellen, Platz sparenden Gerät zusammengefasst.

Aufgrund des von uns verfolgten Multi-Sensor Konzeptes können die 3D-Oberflächenmessgeräte der bewährten MicroProf® Serie, sowohl mit Punkt- und Flächensensoren zur Topographiemessung, als auch mit Schichtdickesensoren, ausgestattet werden. Dadurch bietet sich die Möglichkeit mit unterschiedlichen Sensoren eine Messaufgabe zu lösen, indem jeder Sensor eine Messung durchführt und die verschiedenen Ergebnisse kombiniert werden. Der entscheidende Schritt ist nun, dass das Messgerät, bzw. das benutzte Rezept, die komplette Messaufgabe kennt und vollständig umsetzt. D.h. nicht nur die Messungen mit allen notwendigen Sensoren werden automatisiert erledigt, sondern die Software nimmt auch die unterschiedlichen Messergebnisse auf und errechnet daraus die gewollten Parameter.

Je nach Ihren Anforderungen ermöglicht Ihnen der MicroProf® eine schnelle Übersichtsmessung über die gesamte Probe, sowie hoch aufgelöste Detailmessungen. Es können Profillinien in beliebiger Richtung durch die Oberfläche gelegt werden. Zusätzlich werden im 3D-Modus auch die Kontur oder die vollständige Topographie von Bauteilen bestimmt. Ebenso können Rauheit, Welligkeit, Ebenheit oder auch Schichtdicke dreidimensional quantitativ ausgewertet werden. Weitere Vorteile unserer optischen Messgeräte sind kurze Messzeiten und die benutzerfreundliche Bedienung, wodurch eine Werkerselbstkontrolle ermöglicht wird.

Moderne optische Messgeräte von FRT ermöglichen eine berührungslose und damit  zerstörungsfreie Oberflächenmessung. Unabdingbar ist die Vergleichbarkeit aller in Betracht gezogenen Messungen. Dies gilt für einfache Profile ebenso wie für komplette dreidimensionale Oberflächenbereiche. Die in den DIN/ISO-Vorschriften festgeschriebenen Formeln und Prozesse zur Profilmessung werden sinngemäß auf die Fläche übertragen. Natürlich sind auch die entsprechenden Filterfunktionen berücksichtigt. Der Clou ist dabei eine Filterroutine zur Berechnung der entsprechenden Rauheitswerte für die Verwendung einer Tastspitze mit ausgewählter Geometrie, da die optischen Daten in der Regel eine deutlich höhere Auflösung als taktile Daten liefern und somit nicht direkt mit diesen vergleichbar sind. Mit der Simulation einer Tastspitze werden dann zusätzlich zu den besser aufgelösten Daten für die eigene Produktion auch die Vergleichswerte für Zulieferer oder Kunden bereitgestellt.

Behalten Sie Flexibilität für Ihre zukünftigen Messungen und rüsten Sie Sensoren bei Bedarf einfach und schnell nach, sparen Sie Platz, Zeit und (nicht zuletzt) ​​Kosten.

Das universelle MicroProf® Oberflächenmessgerät ist in verschiedenen Ausführungen erhältlich. Abhängig von der Größe der zu messenden Proben können Sie das System auswählen, das den entsprechenden Probenhalter und den Verfahrbereich zur Verfügung stellt. Neben dem MicroProf® 100 Tischgerät gibt es zwei größere Modelle, MicroProf® 200 und MicroProf® 300, die Standalone-Systeme sind. Von der manuellen Messung und Auswertung bis hin zur vollautomatischen Durchführung von Probenhandling, Messung und Auswertung können Sie den Automatisierungsgrad selbst bestimmen, indem Sie die entsprechenden Software- und Hardwarekomponenten auswählen.

Mit dem MicroProf® TL besteht die Möglichkeit eine topographische Beurteilung der Proben unter thermischer Belastung durchzuführen. Dies ist z.B. in den Bereichen Elektronikbau und Materialtechnik unerlässlich, da Änderungen der Bauteile durch thermische Beanspruchung zu Funktionsstörungen oder sogar Ausfällen führen können. Mit dem  MicroProf® TL kann das Verhalten von Komponenten unter Arbeitsbedingung ermittelt sowie verschiedene Prozessschritte simuliert werden. Der MicroProf® TL baut vollständig auf der bewährten Technologie der Geräte der MicroProf® Serie auf. Die Thermoeinheit ist auch als Erweiterung für alle FRT Messgeräte erhältlich und wird als separates Modul wie ein normaler Probenhalter montiert.

Wir haben sicher auch eine Lösung für Ihre spezifische Aufgabe. Zögern Sie nicht uns bei Fragen zu kontaktieren. Unsere Experten werden sich gerne um Ihr Anliegen kümmern und individuelle Lösungen für Sie ausarbeiten.