09.05.2017

Der erste Metrology Tuesday im neuen Look mit dem MicroProf® FS

Der FRT MicroProf® FS ist ein vollautomatisiertes Gerät zur Wafer-Metrologie, das auf viele Anwendungsbereiche individuell anpassbar ist.

Flexibilität und Vielseitigkeit sind Schlüsselwörter, wenn es heutzutage um Metrologie-Lösungen für den Herstellungsprozess und die Weiterverarbeitung von Silizium-Wafern geht. Der MicroProf® FS verfolgt einen modularen Ansatz, um ein vollautomatisiertes Multi-Sensor Gerät, das alle erforderlichen Messaufgaben lösen kann, zur Verfügung zu stellen. Einige Anwendungen sind hier exemplarisch dargestellt. Typische Stärken des MicroProf® FS liegen in der Messung von strukturierten, sowie von beschichteten Wafern bei den verschiedenen lithographischen Prozessschritten. Dazu gehören zum Beispiel die Messung von Stufen, Bumps, Durchkontaktierungen (TSV), Trenches etc. Eine weitere Domäne sind die Schichtdickenbestimmung von Dünnfilmen, oder auch Schichtstapeln.

Auch bei der Automatisierung wird Flexibilität groß geschrieben. Der integrierte Handling-Roboter kann für 300 mm, 200 mm und 150 mm Wafer konfiguriert werden, die beiden Load Ports können einheitlich für eine Wafergröße oder als Bridge Tool für die Aufnahme von zwei unterschiedlichen Wafergrößen innerhalb eines Systems konfiguriert werden. Darüber hinaus kann das Handling auch für die Handhabung von Nicht-Standard-Wafern, wie z.B. stark gewölbten Wafern (z.B. eWLB) oder dünnen Wafern bis zu 50 μm Dicke angepasst werden. Die Handling-Einheit verfügt über einen Einarmroboter mit einem Vakuum-Endeffektor oder einem Kantengreifer, zwei Load Ports einschließlich Mapper und RFID-Reader, Pre-Aligner ect. Der MicroProf® FS ist mit Filterlüftereinheiten (FFU) ausgestattet, die ISO-Klasse-3-Reinraumbedingungen innerhalb des Geräts sicherstellen. Dank seiner großen Vielseitigkeit ist der MicroProf® FS ein echter Alleskönner in jeder modernen MEMS Fab oder Foundry.

Sie sehen, FRT Messgeräte schaffen Vorteile – an vielen Fronten. Wir haben sicher auch eine Lösung für Ihre spezifische Aufgabe. Zögern Sie nicht uns bei Fragen zu kontaktieren. Unsere Experten werden sich gerne um Ihr Anliegen kümmern und individuelle Lösungen für Sie ausarbeiten.