02.06.2020

Part 6: Area Alignment Task - Automatische Bestimmung und Kompensation vom Versatz einer Messstelle in Bezug zum Die-Layout

Serie Acquire Automation XT – FRT´s Powerful Multi Sensor Software

Die Ausrichtung einer Probe ist für viele Anwendungsfälle entscheidend. Meistens wird die Feinausrichtung zur Ausrichtung der Probe verwendet. Bei Proben mit einem Die-/Elementlayout kann es auch nützlich sein "Site Alignment" zu verwenden. Vor dem Prozessieren eines Dies/Elements wird das Site Alignment ausschließlich für dieses Dies/Element durchgeführt. Die Die-/Elementausrichtung ist eine Überlagerung der Feinausrichtung und des Site Alignment.

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Sowohl die Feinausrichtung als auch das Site Alignment basiert auf Mustererkennung. Die Mustererkennung muss während der Rezepterstellung durch das Aufnehmen eines Systemkamerabildes und das Definieren eines Teils des Bildes als Muster trainiert werden. Eine Bildverarbeitungsschnittstelle erstellt dann ein Muster aus den Bilddaten. Während der Feinausrichtung oder des Site Alignment wird ein weiteres Systemkamerabild an der gleichen Position wie die Anlernposition erfasst. Der Bilderkennungsalgorithmus erkennt das Muster in den Bilddaten und erkennt den Versatz zur Anlernposition in x/y-Richtung und die Rotation des Musters. Diese Informationen werden an jeden nachfolgenden Prozessschritt weitergegeben.

Das "Area Alignment" ist ein eigenständiger Task, der als Ergänzung zur weniger flexiblen Feinausrichtung und Site Alignment eingeführt wurde. Die folgenden Punkte stellen die größten Unterschiede dar:

· Als eigenständiger Task kann es an beliebiger Stelle in der Aufgaben Zusammenstellung platziert werden.

· Die Mustererkennung kann auf Systemkamerabildern, Sensorkamerabildern oder Messdaten eines beliebigen Sensors basieren.

· Künstliche Muster können als Bilddateien importiert werden.

· Es können mehrere Ergebniswerte aktiviert werden, die zu den Task-Ergebnissen hinzugefügt werden. Es kann auch dazu verwendet werden, nur die Position eines Features auf einer Probe zu  erkennen, ohne die Ausrichtungsinformationen in den folgenden Prozessschritten zu verwenden.

· Das optionale Ergebnisbild, das zusammen mit den anderen Ergebniswerten gespeichert wird, markiert den erkannten Musterbereich in den erfassten Bild- oder Messdaten eindeutig für die weitere Untersuchung.

· Es kann mehrfach ausgeführt werden, um die Erkennungsgüte zu erhöhen und die Offset-Erkennung zu verbessern.

Die Erstellung des Area Alignments ist ein zweistufiger Prozess. Zuerst müssen die allgemeinen Einstellungen des Tasks - Kamera-/Sensorauswahl, Scan-Einstellungen, Verhalten im Fehlerfall - eingestellt werden. Danach muss das Muster selbst angelernt werden. Nach dem Einrichten der grundlegenden Task-Einstellungen muss ein Flächenscan erstellt werden. Nachdem der Flächenscan definiert wurde, kann der Anlerndialog verwendet werden, um das für die Mustererkennung erforderliche Muster zu trainieren.

Area Alignments sind Aufgaben, vergleichbar mit Flächenscans. Dadurch erscheinen sie wie jeder andere Task in der Prozessansicht. Sie werden für jedes Die/Element ausgeführt (wenn ein Layout verwendet wird) und die Ausrichtung wird nur für das aktuelle Die/Element beibehalten. Während des Prozesses liefern Area Alignment Tasks Vorschaubilder im gleichen Stil wie die Feinausrichtung und das Site Alignment. Wenn ein Muster erkannt wurde, zeigt die Kopfzeile Area Alignment gefunden an und die ermittelte Qualität sowie die erkannte Rotation des Musters wird ausgegeben. Wenn die Erkennung fehlgeschlagen ist, wird die erwartete absolute Position angezeigt. Wenn eine Remote-Schnittstelle wie SECS/GEM verwendet wird, können die Ergebniswerte auch in die Wafer-Ergebnisliste aufgenommen werden.

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