23.05.2017

Da wissen Sie immer, wer heute auflegt: Der MicroProf® MHU

Für viele industrielle Anwendungen ist es notwenig, Messungen vollautomatisch mit hohen Durchsatzraten durchzuführen. Zu diesem Zweck ist ein automatisches Handling der Proben erforderlich. Der FRT MicroProf® MHU ist speziell für die Halbleiter-, MEMS– und LED-Industrie konzipiert und lässt sich problemlos für verschiedene Proben- (Wafer-) Typen konfigurieren. Die Handling-Einheit verfügt über einen Roboterarm mit zwei Vakuum-Endeffektoren, eine Ladestation für offene Kassetten einschließlich Mapper, sowie optional OCR Reader, Pre-Aligner ect. Sie ist in der Lage, Wafergrößen von 2 bis 12 Zoll zu verarbeiten. Je nach Konfiguration können bis zu 4 Kassetten gleichzeitig prozessiert werden. Es werden Durchsatzraten von bis zu 200 Wafern pro Stunde erreicht. Das Gerät kann mit zahlreichen Zusatzfunktionen ausgestattet werden. So können auf Basis des Multi-Sensor Konzepts weitere Sensoren zu einem späteren Zeitpunkt nachgerüstet werden.

Einige Anwendungen sind hier exemplarisch dargestellt. Typische Stärken des MicroProf® MHU liegen in der Messung von Bare Wafern, sowie strukturierten und beschichteten Wafern bei den verschiedenen lithographischen Prozessschritten. Natürlich gibt es auch bei diesem Gerät die Option für die beidseitige Probenprüfung. Dies ermöglicht die gleichzeitige Messung der Ober- und Unterseite der Probe und die Bestimmung der Probendicke. So kann die Gesamtdickenvariation (TTV) der Probe zusammen mit Oberflächenparametern, z.B. Rauheit, Welligkeit und Ebenheit beider Seiten, bestimmt werden. Ebenso ist eine vollständige Waferinspektion, mit Analyse der globalen und lokalen Waferparameter, möglich. Es steht dabei eine Sorting-Funktion, zur Sortierung von guten und schlechten Proben, zur Verfügung. Eine weitere Domäne des MicroProf® MHU ist die Schichtdickenbestimmung von Dünnfilmen, oder auch Schichtstapeln. Weitere Anwendungen sind zum Beispiel die Messung von Stufen, Bumps, Durchkontaktierungen (TSV), Trenches etc.

Aufgrund seiner vollständig SEMI-konformen Auslegung, nahezu wartungsfreien Hardwarekomponenten und seinem hohen Durchsatz ist der MicroProf® MHU die perfekte Lösung, um den Aufwand für die Qualitätssicherung signifikant zu reduzieren.

Sie sehen, FRT Messgeräte schaffen Vorteile – an vielen Fronten. Wir haben sicher auch eine Lösung für Ihre spezifische Aufgabe. Zögern Sie nicht uns bei Fragen zu kontaktieren. Unsere Experten werden sich gerne um Ihr Anliegen kümmern und individuelle Lösungen für Sie ausarbeiten.