13.02.2018

CWL FT – Hochgenaue Messung dünner transparenter Schichten im Mikrometer Bereich

Der CWL FT ist ein interferometrisch arbeitender Schichtdickensensor, der speziell für die Messung der Dicke von Produkten wie z.B. Folien oder Beschichtungen ent­wickelt wurde, die für sichtbares Licht transparent sind. Mit dem CWL FT kann die Schichtdicke an einer gegebenen Position, entlang eines Profils oder auch über die gesamte Ober­fläche in Form eines Mappings zwecks Bewertung ihrer Beschich­tungshomogenität ausgewertet werden. Zudem eignet sich der Sensor auch für die Charakterisierung von Mehrschichtsystemen. Es können mittels FFT (Fast Fourier Transformation) Schichtdicken von bis zu zwei Schichten im Bereich von ca. 2 bis 250 μm mit einer Auflösung von ca. 10 nm gemessen werden.

Der CWL FT beruht auf der spektralen Auswertung der Überlagerung von Teil­wellen einer Weißlichtquelle, die an den Grenzflächen einer transparenten Schicht reflektiert werden. Bei gegebener Schichtdicke und gege­benem Brechungsindex variiert die Intensität der überlagerten Teilstrahlen mit der Wellenlänge. Das Spektrum zeigt dann ein typisches Interferenz­muster. Aus diesem Spektrum und dem Brechungsindex des Schichtmaterials berechnet der Sensor die Dicke.

Die Auswertung der gemessenen Schichtdicken erfolgt mit dem Analyseprogramm FRT Mark III. Die leistungsfähige Software wird in den FRT Messgeräten sowohl für die Darstellung und Auswertung von Topographiedaten wie auch von Schichtdickenmessungen eingesetzt.

Die Multi-Sensor Messgeräte der MicroProf® Serie bieten die Möglichkeit den Schichtdickensensor mit einem chromatischen Abstandssensor zu kombinieren. Damit werden sowohl die beschriebenen Schichtdickenmessungen wie auch Topographie- und Profilmessungen mit einer Höhenauflösung von wenigen Nanometern in einem Messsystem ermöglicht. So steht Ihnen ein außerordentlich leistungsfähiges Messsystem für schnelle, hochgenaue Schichtdicken- und Topographiemessungen zur Verfügung.

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