14.11.2017

Berührungslose Metrologie-Lösungen für Front- und Back-End

Der Trend der Technologie zu immer kleineren elektronischen Geräten erfordert neue Ansätze in der Fertigung von Wafern. Zunehmend komplexere Strukturen auf größeren Substraten erfordern eine intensivere Fertigungskontrolle und stellen somit neue Anforderungen an moderne Messinstrumente. Neben der Genauigkeit und Wiederholpräzision sind heute Vielseitigkeit oder Prozessintegrationsmöglichkeiten die entscheidenden Faktoren.

Der Schlüssel heißt Multi-Sensor Technologie. Wir sind der Ansicht, dass moderne Messinstrumente flexibel, nachrüstbar und zukunftsorientiert sein müssen. Aus diesem Grund haben wir das FRT Multi-Sensor Konzept entwickelt, das es uns ermöglicht, Ihr Messinstrument an die Veränderungen Ihrer Anforderungen anzupassen. Stellen Sie sich nur vor, welche Vorteile ein Messgerät bietet, das mehrere Messtechnologien wie etwa die konfokale Mikroskopie, chromatische Verfahren und die Rasterkraftmikroskopie in einem einzigen unkomplizierten Arbeitsablauf kombiniert. FRT bietet mit seiner Erfahrung in der Messtechnik Lösungen für Ihre speziellen Anforderungen!

Egal ob Sie ein eigenständiges berührungsloses Wafer-Messgerät für Ihr Labor oder ein vollintegriertes System für Ihre Produktionsabteilung im Front-End oder Back-End Bereich benötigen – FRT bietet die passenden Standard- und Speziallösungen zur Verbesserung Ihrer Produktionseffizienz. Der Automatisierungsgrad reicht von manuell bedienten Messsystemen wie dem MicroProf® 300, die automatisch vordefinierte Programme ausführen, bis hin zum vollautomatisierten Wafer-Handling einschließlich automatischer Vor- und Feinausrichtung im MicroProf® MHU. FRT Systeme können für die Handhabung SEMI-konformer und nicht konformer Wafer, die oftmals in der MEMS-Industrie eingesetzt werden, konfiguriert werden. FRT bietet überdies eine Vielzahl von Lösungen für das wachsende Marktsegment der 3D IC-Fertigung von der Dünnschichtmessung über die Trenchmessung bis hin zur Maßprüfung kritischer Abmessungen im gesamten Fertigungsprozess.

Für Halbleiter-Anwendungen bietet FRT eine eigene Geräteklasse für die Reinraum- Fertigung: die MFE-Serie, mit dem MicroProf® FE und MicroProf® FS. MFE Messsysteme können 200 mm und 300 mm Wafer in einem System verarbeiten (FOUP, SMIF und offene Waferkassetten möglich). Das enthaltene SEMI-konforme Softwarepaket ermöglicht eine interaktive oder automatisierte Nutzung, die einfache Erstellung von Mess- und Auswerterezepten sowie die Einbindung in vorhandene Fertigungssteuerungssysteme über die SECS/GEM-Schnittstelle.

Ob Labor, Entwicklung, Qualitätssicherung oder Produktion – FRT bietet die passende Messtechnik für Ihre Anwendung. Zögern Sie nicht uns bei Fragen zu kontaktieren. Unsere Experten helfen Ihnen gerne bei der Lösung Ihrer Messaufgaben, indem sie die bestmögliche Systemkonfiguration für Sie erstellen. Eine umfassende Lösung besteht unserer Ansicht nach neben der Hard- und Softwareentwicklung auch in ergänzenden Dienstleistungen und einem effektiven technischen Kundendienst. FRT bietet über ein globales Netzwerk aus Zweigniederlassungen und Distributoren zur Unterstützung vor Ort. Mithilfe des FRT Remote-Supports können unsere Experten weltweit Kunden bei Fragen zur Seite zu stehen.