12.05.2020

Part 3: Dual-Scan-Modus für High-Speed-Messung von Strukturen mit großem diskontinuierlichen Sprung

Serie Acquire Automation XT – FRT´s Powerful Multi Sensor Software

Der Dual-Scan-Modus wird verwendet, um Zeit bei der Messung von Strukturen mit einem großen z-Höhenunterschied zu sparen oder in Fällen, in denen zwei Bereiche der Probe mit unterschiedlichen Sensoreinstellungen gemessen werden müssen. Er wird in Kombination mit den FRT Bildfeldsensoren WLI, CFM und CFM DT eingesetz.

Im Dual Scan-Modus werden zwei Einzelscans durchgeführt, einer mit den Scan-Parametern von Einzelscan 1, der andere mit den Scan-Parametern von Einzelscan 2. Anschließend werden die Rohdaten der beiden Scans zu einem Topographiebild zusammengeführt. Dabei werden die Rohdaten aus dem Einzelscan, der als 'Master' definiert ist, bevorzugt. Die Werte des anderen Einzelscans verbleiben im resultierenden Bild nur an den Stellen, an denen die Topographie des 'Master'-Einzelscans ungültig ist.

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Im Dialogfeld "Sensoreinstellungen" wird die Messung definiert, indem die Scan-Grenzen, die Lampenintensität, das Objektiv und die Schrittweite für die beiden Einzelscans getrennt eingestellt werden. Bei einem Dual Scan muss das gewählte Objektiv für beide Einzelmessungen gleich sein. Wenn die beiden Scans abgeschlossen sind, wird die zusammengesetzte Topographiemessung angezeigt. Um das zusammengesetzte Ergebnis anzupassen, kann der Benutzer den Post-Processing-Dialog verwenden. Für jeden Einzelscan können die Topographie- und Intensitätsgrenzen separat eingestellt werden.

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Part 4/7:Fit-basierte Defektinspektion findet lokale Abweichungen einer Messung im Vergleich zu einer Referenz

Part 5/7:Individuelle Durchführung von Tasks und Auswertungen zur Rezept-Anpassung

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