15.05.2018
WLI FL – Leistungsstarkes Weißlichtinterferometer für schnelle, großflächige Topographiemessungen mit exzellenter Höhenauflösung
Ein Problem für die Messtechnik stellt oft das geringe laterale Ausmaß von Strukturen dar, da die optische Auflösung der Verfahren meist nicht ausreichend ist, diese aufzulösen. So sind beispielsweise bei Trenches Grabenbreiten von kleiner 1 μm möglich. Der WLI FL ist ein optischer 3D-Flächensensor, der auf dem Verfahren der Weißlichtinterferometrie basiert. Er zeichnet sich durch...
