Part 4: Fit-basierte Defektinspektion findet lokale Abweichungen einer Messung im Vergleich zu einer Referenz
Serie Acquire Automation XT – FRT´s Powerful Multi Sensor Software
Die fit-basierte Defektinspektion ist eine Auswertung, die lokale Abweichungen einer Messung im Vergleich zu einer Referenz finden soll. Sie kann verwendet werden, um Fehler an einer Probe zu identifizieren, wie z.B. Risse, abgeplatzte Kanten, Vertiefungen, Kratzer, etc. Dazu muss eine Referenzform (die ideale Probenform ohne Fehler) bekannt sein und als mathematische Funktion vorgegeben werden. Die Parameter der mathematischen Funktion können offen gelassen werden, um durch einen Fit-Algorithmus angeglichen zu werden. So kann die Referenzform unter Beibehaltung der Grundform an die gemessene Probe angepasst werden. Die Abweichungen zwischen der angepassten Referenzform und der Messung werden dann ermittelt, gruppiert und klassifiziert.
Die grundlegenden Schritte des vollständigen Verfahrens sind:
1. Bestimmen Sie den Bereich der Probe innerhalb der Messung und schneiden Sie die Messdaten außerhalb der Probe aus
2. Passen Sie die Parameter der Funktion, die die Referenzform darstellt, so an, dass die Referenzform am besten zur Form der gemessenen Probe passt
3. Abweichungen zwischen Fit und Messung bestimmen
4. Abweichungen gruppieren, auswerten und klassifizieren
Der Benutzer kann den Schwellenwert festlegen, bei dem ein abweichender Messpunkt als Fehlerpunkt gewertet wird. Abweichungen, die kleiner als dieser Schwellenwert sind, werden nicht als Fehler betrachtet. So kann man kann nur an Defekten interessiert sein, deren seitliche Ausdehnung größer als ein eingestellter Schwellenwert ist. Diese Eigenschaft kann genutzt werden, um nur Abweichungen (Abweichungsbereiche) zu berücksichtigen, deren maximale seitliche Ausdehnung größer als der eingestellte Wert ist.
Gefundene Defekte werden nach ihrer Form klassifiziert, insbesondere im Hinblick auf das Seitenverhältnis zwischen ihrer längsten seitlichen Ausdehnung und ihrer zur längsten Ausdehnung orthogonalen Ausdehnung. Es sind zwei Klassen verfügbar: Vertiefungen und Kratzer. Defekte mit einem größeren Seitenverhältnis als vom Anwender individuell festgelegt werden als Kratzer, ansonsten als Vertiefungen klassifiziert.
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