News

Part 8: Metrologie für alle Prozessschritte im Advanced Packaging

MicroProf^® AP - Flexible Multi-Sensor-Metrologie für alle Prozessschritte im Advanced Packaging

Mit wachsender Bedeutung von Wafer Level Packaging...

Part 7: Metrologie für Molding von 3D-Chipstapeln

Serie Advanced Packaging - Multi-Sensor Metrology for Every Process Step

Eine Standardmethode zur Verkapselung elektronischer Bauteile ist das Moldin...

Part 6: Metrologie für 3D Chip-Stacking

Serie Advanced Packaging - Multi-Sensor Metrology for Every Process Step

3D Chip-Stacking bezeichnet den Prozess der Stapelung mehrerer Dies...

Part 5: Metrologie für Wafer-Dicing

Serie Advanced Packaging - Multi-Sensor Metrology for Every Process Step

In der Herstellung integrierter Schaltungen ist das Wafer-Dicing der...

Headline Autumn 2018

Our Autumn Headline is online! Check it out! You can expect interesting topics about Advanced Packaging and the latest trends at FRT.

Find the full...

FRT GmbH launches integrated metrology solution for microchip production

FRT GmbH introduced the MicroProf^® AP to the market in October. The metrology tool is specially developed for demanding applications in 3D IC...

FRT Metrologie – Das Beste für 2D und 3D

Mit dem MicroProf^® von FRT lassen sich vielfältige Messaufgaben schnell, effizient und intuitiv durchführen. Als etabliertes Standardmessgerät in...

Part 4: Metrologie für Carrier Bonding, Backside Thinning und Nail Reveal

Serie Advanced Packaging - Multi-Sensor Metrology for Every Process Step

Advanced Packaging-Technologien entwickeln sich in der Halbleiterindustrie...

Part 3: Metrologie für die Herstellung von RDL, UBM und Lotbumps

Serie Advanced Packaging - Multi-Sensor Metrology for Every Process Step

Im Laufe der Zeit hat sich die Halbleiterindustrie immer mehr auf die...

Part 2: Metrologie für die TSV-Fertigung

Serie Advanced Packaging - Multi-Sensor Metrology for Every Process Step

Dreidimensionale integrierte Schaltungen (3D IC) und 2,5D IC mit Si-Interpos...

Part 1: Metrologie für die Halbleiter-Lithographie

SERIE Advanced Packaging - Multi-Sensor Metrology for Every Process Step

Die Herstellung einer integrierten Schaltung (IC) erfordert eine Vielzahl...

IR-Mikroskop - 2D-Analyse durch IR-Transmissionsbilder

Das IR-Mikroskop erfasst Transmissionsbilder für die optische, berührungslose und zerstörungsfreie 2D-Analyse von Strukturen in nahinfraroten (NIR)...

Part 5/5: Jetzt noch mehr Möglichkeiten im Grundpaket

SERIE Acquire Automation XT – FRT’s Powerful Multi Sensor Software

Unser Bestreben, die hauseigene Bediensoftware unserer Geräte stetig zu...

Part 4/5: Software Paket zur Overlay-Messung

SERIE Acquire Automation XT – FRT’s Powerful Multi Sensor Software

Heutzutage besteht die 3D-IC-Produktion aus einer Abfolge von Schritten, bei denen...

Part 3/5: Neuer „Schichtmodus“ für Bildfeldsensoren

SERIE Acquire Automation XT – FRT's Powerful Multi Sensor Software

Transparente Schichten stellen eine tägliche Herausforderung im Bereich der Topogr...

Part 2/5: Software Paket „Linsenform“

SERIE Acquire Automation XT – FRT's Powerful Multi Sensor Software

Egal ob große Linsen oder Mikrooptiken, die Systeme werden immer komplizierter...

Part 1/5: Hybride Messtechnik zur schnellen und zuverlässigen Bestimmung von nicht zugänglichen Parametern

Halbleiter, MST/MEMS/Nano, Saphir/LED und viele weitere Anwendungen - die Nachfrage...

Diversification of Markets Calls for Hybrid Metrology with Multi-Sensor Technology

Excerpt: It used to be that people thought about metrology for front-end process control and inspection for advanced packaging. As wafer level...

MicroSpy® FT – Leistungstarkes Schichtdickenmessgerät für die Produktionskontrolle und Entwicklung

Bei Messaufgaben in der begleitenden Produktionskontrolle, sowie den Bereichen Forschung und Entwicklung, kommt der FRT MicroSpy^® FT zum Einsatz. Der ...

Untersuchung von Gummiproben und Bestimmung der Füllstoffteilchendispersion

Die Verteilung der Füllstoffteilchen in Gummimischungen bestimmen die mechanisch-dynamischen Eigenschaften des Materials. Darüber hinaus ist sie ein...

MicroSpy® Profile - Einstieg in die berührungslose 2D- und 3D-Oberflächenmesstechnik

Der MicroSpy^® Profile ist ein optisches Profilometer für den Einstieg in die berührungslose 2D- und 3D-Oberflächenmesstechnik. Mit diesem FRT...

Messung von SU-8 Photolackdicke, Homogenität und Topographie

SU-8 ist ein kontraststarker, epoxybasierter Photoresist für die Mikrobearbeitung und andere mikroelektronische Anwendungen, bei denen ein dickes,...

Vielseitige optische Multisensor-Technologie in der Fertigung mikrofluidischer Systeme

Es gibt heute viele verschiedene optische Messprinzipien, die alle ihren spezifischen Anwendungsbereich haben. Wo Infrarotlicht emittierende...

Schnelle, berührungslose Oberflächenmessung in der Feinmechanik

Im Bereich der Feinmechanik stellen sich für Messsysteme zur Oberflächeninspektion vielfältige Messaufgaben, wie z.B. die Aufnahme der 3D-Topographie...

Berührungslose Vermessung von Folien

Für die Qualitätssicherung bei der Folienherstellung ist die Foliendicke zu kontrollieren. Bei Folien mit funktionalen Oberflächen ist es zudem...

Brückenschlag vom Nanometer zum Meter

Die Untersuchung von Rauheit und Struktur an Oberflächen erhält immer mehr technologische Relevanz. Die Anforderungen an Bauteile und endbearbeitete...

Präzise Oberflächenmessung von Erzeugnissen der Papierindustrie

Papierprodukte müssen nicht nur den ästhetischen Ansprüchen des Anwenders, sondern auch speziellen technischen Spezifikationen genügen. „Gutes“ Papier...

Oberflächenmessung als Dienstleistung

Die Metrologie birgt für Unternehmen in den verschiedensten Bereichen ein enormes Optimierungspotenzial. Forschung & Entwicklung können beschleunigt...

3D-Oberflächenmesstechnik für die Prozesskontrolle bei der Herstellung von sphärischen und asphärischen Linsen

Egal ob große Linsen oder Mikrooptiken, die Systeme werden immer komplizierter und die Fertigungsprozesse sind vielfältig und längst in den...

Prozesskontrolle bei der Herstellung von Kunstlederhäuten

Für die Prozesskontrolle bei der Herstellung von Kunstlederfolien soll die möglichst formtreue Übertragung der Ledervorlage bis zur Kunstlederhaut...

Schnell, exakt und zerstörungsfrei - Messung dünner transparenter Schichten auf einem Wafer

Polymere sind aus der modernen Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik, aus der Mikrooptik und Medizintechnik nicht mehr wegzudenken. Dabei wurden sie...

Mit Mikrostrukturen zu besser fixierten Implantaten

An die Oberflächen von Implantaten werden sehr hohe Anforderungen gestellt. So sind zum Beispiel Hüft- und Knieendoprothesen oder auch Dentalimplantat...

WLI FL – Leistungsstarkes Weißlichtinterferometer für schnelle, großflächige Topographiemessungen mit exzellenter Höhenauflösung

Ein Problem für die Messtechnik stellt oft das geringe laterale Ausmaß von Strukturen dar, da die optische Auflösung der Verfahren meist nicht...

Topographiemessung an optischen Linsen

Für die Prozesskontrolle bei der Herstellung von Kunststofflinsen soll die Topographie von stark gekrümmten Linsen mit hoher Auflösung gemessen und...

Die Frühlingsausgabe der HEADLINE ist da!

Erfahren Sie in dieser spannenden Ausgabe a) welchen Award die FRT GmbH für den MircoProf® erhalten hat! b) wie der neue „Schichtmodus“ für...

Messung von Struktur, Höhe und Rauheit an Bauteilen aus dem Kunststoffspritzguss

Bei der Produktion, Weiterverarbeitung und Anwendung von Kunststoffspritzgussteilen ist insbesondere die Untersuchung der Oberfläche im Hinblick auf...

MicroProf® 200 – Ein Messgerät für alle Oberflächen

Vielfältige Anwendungen und Anforderungen in der täglichen industriellen Praxis erfordern flexible Lösungen. Mit seinem modernen und...

CWL – Chromatischer Weißlicht Sensor für schnelle und hochpräzise Messungen

Bei der Untersuchung flacher, ausgedehnter Strukturen ist eine Reihe von Fragen zu klären. Ein wichtiger Parameter ist die Rauheit der Oberfläche die...

MicroSpy® Topo DT – Konfokalmikroskop mit Weißlicht- und Phase-Shift-Interferometrie

Mit dem MicroSpy^® Topo DT bietet FRT ein innovatives 3D-Messmikroskop an, das für viele Oberflächen – von sehr glatt bis rau – den optimalen ...

IRT – Schnelle und präzise Schichtdickenmessung von IR transparenten Materialien

Bei Materialien, die für sichtbares Licht opak, für Infrarotstrahlung aber transparent sind, macht FRT mit dem IRT Dickenmessung möglich. Der IRT ist...

Vollständige Nanotopographieanalyse von Wafern mit dem MicroProf®

Die Skalierung von Transistorstrukturen auf immer kleinere Strukturgrößen ist von entscheidender Bedeutung für die Verbesserung der Chip-Performance...

FRT Equipment Supplier of the Year 2018

3D InCites hat FRT zum "Equipment Supplier of the Year" gekürt. 3D InCites bat darum, 40 Nominierte aus 26 Unternehmen und vier Forschungsinstituten,...

MicroSpy® Topo – One-Shot 3D-Mikroskop zur schnellen, flächenhaften Oberflächenmessung

Der MicroSpy^® Topo ist ein Konfokalmikroskop, das sich für die schnelle und berührungslose Untersuchung von 3D-Topographie, Rauheit oder Kon­tur an...

FTR – Dünnschichtsensor für hochaufgelöste Dickenmessung

Dünne Schichten spielen in technischen wie auch dekorativen Anwendungen eine zunehmend größere Rolle. Je nach Einsatzgebiet kann dabei die...

Messung der Topographie unter thermischer Belastung

Um unsere Geräte immer auf die aktuellen Kundenwünsche anzupassen, haben wir unser Produktportfolio erweitert und bieten unsere ...

CWL FT – Hochgenaue Messung dünner transparenter Schichten im Mikrometer Bereich

Der CWL FT ist ein interferometrisch arbeitender Schichtdickensensor, der speziell für die Messung der Dicke von Produkten wie z.B. Folien oder Beschi...

Sub-nm-Auflösung in Verbindung mit dem Rasterkraftmikroskop

Ob in der Halbleiter-, Nanotechnologie oder auch im Bereich Laser und Optik, der Trend zu Downscaling ist in nahezu allen Industriezweigen zu ...

Metrologie Know-How: Messlösungen für alle Waferanwendungen

Halbleiter und MEMS unterliegen einer zunehmenden Miniaturisierung. Damit steigen die Anforderungen an die Messtechnik, mit der die Qualität der Wafer...

Intuitive Messsoftware von FRT – Acquire

Ob bei der Neuentwicklung, der Prozesskontrolle oder der Schadensanalyse – fast immer ist es notwendig, eine Vielzahl verschiedener Messungen an ...

Das MicroProf® 100 Tischgerät – Genauso stark wie die Großen

Das Erfolgsmodell MicroProf^® 100 aus der Messgerätefamilie von FRT setzt neue Maßstäbe bei der optischen Messtechnik.

Als kompaktes Tischgerät und...

Vollautomatisierte optische Oberflächenmessung bietet Potenzial für Ihre Produktion

Wareneingangskontrolle, die Überwachung einzelner Fertigungsschritte oder die Qualitätssicherung fertiger Produkte – die optische...

FRT Multi-Sensor Technik: das Non-Plus-Ultra bei der Herstellung innovativer Produkte im Maschinenbau

Die präzise Messung von Oberflächen im Maschinenbau ist sowohl in der F&E als auch in der industriellen Produktionskontrolle nicht mehr wegzudenken....

Wettbewerbsvorteil in der Photovoltaikindustrie - Optische Oberflächenmesstechnik optimiert Fertigung neuer Solarwafer-Generationen

Die zerstörungsfreie Charakterisie­rung von Oberflächenstrukturen auf Solarwafern ist von immer größerer Bedeutung, denn sie kann Lösun­gen für viele...

Die MicroGlider® Serie – sensationell sensitiv

In praktisch allen Bereichen der industriellen oder manuellen Fertigung spielt die Beschaffenheit von Oberflächen eine zentrale Rolle. Ob ein...

Vielseitigkeit für Labor und Produktion – Konfokale und interferometrische Messtechnik in einem

FRT bietet die optimale Lösung für Anwender denen reine Konfokalmikroskopie für ihre Messaufgaben nicht ausreicht. „Dual Technology“, kurz DT, diese...

Hoch präzise Dicken- und TTV-Messung für die Waferherstellung

Sägen, Schleifen, Läppen, Polieren… Das sind die typischen Bearbeitungsschritte, die vom Ausgangsprodukt „Ingot“ zu qualitativ hochwertigen Wafern...

Berührungslose Metrologie-Lösungen für Front- und Back-End

Der Trend der Technologie zu immer kleineren elektronischen Geräten erfordert neue Ansätze in der Fertigung von Wafern. Zunehmend komplexere...

Die neue Ausgabe der Headline ist da

Pünktlich zum Start der Semicon Europa veröffentlichen wir unsere Zeitschrift Headline, die zweit Ausgabe in unserem RelaunchYear. Sechs Monate sind...

FRT Messgeräte helfen bei der Realisierung ambitionierter Roadmaps in der Saphir und LED Industrie

Was auch immer produziert wird, ganz gleich aus welchem Material und in welchen Mengen – einwandfreie Qualität wird nur durch gleichbleibend hohe...

Vollumfassender Service garantiert Kundenzufriedenheit

Die FRT GmbH bietet 3D-Oberflächenmesstechnik für die Forschung, Produktion und Qualitätssicherung. Mit Mikro- und Nanometerauflösung liefern die...

Umgesattelt: optische Messtechnik erobert die Automobilindustrie

Die moderne Automobilindustrie steht vor großen Herausforderungen bezüglich der immer härteren Qualitätsansprüchen ihrer innovativen Produkte. Die...

Confidence in Optical Thickness Measurements

Wir durften in der Zeischrift Optik & Photonik einen Artikel über optische Schichtdickenmessung veröffentlichen. Viel Spaß beim Lesen!

BGA- und Lötpunktvermessung mit optischer 3D-Oberflächenmesstechnik von FRT

Bei der prozessnahen Kontrolle von BGAs (Ball Grid Arrays) und Lötpunkten aber auch Leiterplatten und Wafern ist eine Vielfalt von Messaufgaben zu...

Rauheitsmessung – unverzichtbar und hochpräzise

Ob in der Forschung und Entwicklung, der Prozess- oder Qualitätskontrolle: Eine exakte Rauheitsmessung von Werkstücken oder fertigen Produkten ist in...

Metrologie für MEMS – mehr als ein Trend

Die Komplexität integrierter Schaltkreise nimmt beachtlich zu – und ist ein unglaublicher Innovationstreiber. Gleichzeitig stellt diese Entwicklung...

Es geht nicht mehr ohne: Berührungslose Oberflächenmesstechnik für die perfekte Medizintechnik

Der Miniaturisierungstrend in der Medizintechnik schreitet rasend fort. Im Fokus der Entwicklung und Herstellung medizintechnischer Produkte stehen...

Oberflächenmessung vor Ort

Ob große Maschine, schwer zugänglicher Fahrzeuginnenraum, fest montierte Walze oder sperrige Glasscheibe: Wenn „vor Ort“ gemessen werden muss, kommt...

Alles dicht! Optische Messtechnik für die Qualitätskontrolle von Dichtungen und Dichtflächen

Sicheres Abdichten stellt in vielen Branchen eine große technische Herausforderung dar. So werden Dichtungen beispielsweise im Automotive-Bereich, in...

Silicon goes 3D – TSVs und Trenches als Schlüsseltechnologie einer neuen Halbleitergeneration

Der meiste Druck kommt wie immer von der Kostenseite. Aber für die Entwicklungen im Bereich 3D IC gibt es viele Gründe. Moore´s Law geht noch eine...

FRT Mark III – Auswerteplattform für umfangreiche Analyse von Topographie- und Bilddaten

Ob bei der Neuentwicklung, der Prozesskontrolle oder der Schadensanalyse – fast immer ist es notwendig, eine Vielzahl verschiedener Messungen an ...

Hauseigene FRT Software für Ihre Automatisierung – Acquire Automation XT

Die Hightech-Produktion kann nicht mehr auf industrielle Automatisierung verzichten. Sie erhöht die Effizienz in der Fertigung und sorgt für kürzere...

Engpass im Bereich Metrologie – muss nicht sein! Oberflächenanalyse als Dienstleistung

Ideal für Einsteiger oder Unternehmen, die (noch) selten messen, oder wenn es einfach mal eng ist – die Dienstleistung bei FRT. Unsere Experten...

Stress-Messungen mit dem MicroProf®

Bei der Herstellung oder thermischen Behandlung von dünnen Schichten kann in den Schichten Stress entstehen. Dieser wird beispielsweise durch...

Mit Sicherheit die gewünschte Qualität – Prägender Eindruck dank optischer Messtechnik

Längst geht es bei der Verpackungsherstellung für Markenprodukte nicht mehr ausschließlich um gleichmäßige Druckqualität und Wiederholbarkeit.

Die...

Patterned-Sapphire-Substrate Prozess: Steigern Sie ihren Yield durch intelligent eingesetzte FRT-Messtechnik

Was auch immer produziert wird, ganz gleich aus welchem Material und in welchen Mengen – einwandfreie Qualität wird nur durch gleich bleibend hohe...

Schichtdicke mit leistungsstarker Technik messen – FRT bietet für jede Schicht das passende Oberflächenmessgerät

Dünne Schichten spielen in technischen wie auch dekorativen Anwendungen eine zunehmend größere Rolle. Je nach Einsatzgebiet kann dabei die...

Messen von nicht zugänglichen Parametern – FRT hat die passende Lösung: Hybrid-Metrologie

Halbleiter, MST/MEMS/Nano, Saphir/LED, Photovoltaik, Automotive, Maschinenbau, Medizintechnik, Optik, Verpackungen… – das Anwendungsgebiet für 3D-Ober...

Headline Mai 2017

Sie möchten wissen, was es bei FRT neues gibt? Dann schauen Sie einfach in unsere hauseigene Zeitschrift Headline.

Heutzutage sind elektronische Geräte nicht mehr wegzudenken – PCB’s machen es möglich

Nahezu jedes elektronische Gerät besitzt ein oder mehrere PCB’s, welche der mechanischen Befestigung und elektrischen Verbindung von elektronischen...

Wenn es schnell gehen muss: Der FRT SLS

Der FRT SLS ist ein schneller optischer Liniensensor für Anwendungen, bei denen hohe Messgeschwindigkeiten gefordert sind. Typische Messaufgaben sind...

Wer den Durchblick hat ist vorne: Die passende Lösung für Messaufgaben aus der Optik

Egal ob große Linsen oder Mikrooptiken, die Systeme werden immer komplizierter und die Fertigungsprozesse sind vielfältig und längst in den...

Zuwachs in der MicroProf® Familie: Der MicroProf® TL

Der FRT MicroProf^® TL ist das neuste Mitglied der MicroProf^® Serie. Wie auch die anderen MicroProf^® Geräte ist der 'TL' (thermal load) ein optisches...

Da wissen Sie immer, wer heute auflegt: Der MicroProf® MHU

Für viele industrielle Anwendungen ist es notwenig, Messungen vollautomatisch mit hohen Durchsatzraten durchzuführen. Zu diesem Zweck ist ein...

Der Zwillingsbruder: Der MicroProf® FE

Der FRT MicroProf^® FE ist unser Standardgerät für die automatisierte 2D/3D Wafer-Metrologie. Er verbindet die Fähigkeiten des weltweit etablierten Mic...

Der erste Metrology Tuesday im neuen Look mit dem MicroProf® FS

Der FRT MicroProf^® FS ist ein vollautomatisiertes Gerät zur Wafer-Metrologie, das auf viele Anwendungsbereiche individuell anpassbar ist.

Flexibilitä...

FRT 4.0 – mit Vollgas in die Zukunft!

Ab Mai 2017 beginnt das Relaunch Year bei der FRT GmbH. Die FRT ist mit der überaus erfolgreichen 3. Gerätegeneration und einem neuen Design erwachsen...