Saphir und LED

Längst sind LEDs omnipräsent, aber noch lange nicht sind alle Glühbirnen ersetzt. Oder alle verschiedenen Bauformen der LED und OLED Technologie entwickelt. Oder alle Anwendungen dieses vielseitigen Lichtes erkannt. Auch im Bereich der Substrate für diese vielseitigen Produkte liegt noch vieles vor uns. FRT hilft diese Wege auszuloten und schließlich auch zu gehen, wir wollen ja nicht im Dunkeln tappen. 

Probendicke / TTV

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SEMI-konforme Dicken- und TTV-Messung

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Vollständige Waferdickenkarte

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4 Profile eines Saphirwafers zeigen Dickenvariation

GLOBALE / LOKALE WAFERPARAMETER

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Graphische Darstellung der lokalen Waferparameter

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Vollständige Waferdickenkarte in 3D-Ansicht

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Wafer-Map mit lokalen Parametern (LTIR, LTV, LT, LFPD, etc.)

RAUHEIT

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DIN/ISO-konforme Rauheits- und Welligkeitsmessung

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Profil auf der rauen Seite eines Saphir-Wafers, Ra=0,776 mm

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Profil auf der polierten Seite einer Saphirscheibe, Ra=0,04 mm

TOPOGRAPHIE OBEN / UNTEN

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Simultane Topographiemessung auf beiden Waferseiten

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Flächenmessung der oberen und unteren Topographie eines Saphirwafers

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Profilmessung der oberen und unteren Topographie eines Saphirwafers

TOPOGRAPHIE (FORM, STRUKTUR)

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Standard Topographiemessung

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Vollständige Wafer-Topographiekarte der Unterseite eines Saphirwafers in 3D-Ansicht

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Topographie einer LED in 3D-Ansicht

BUMPS

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Bump-Abmessungen und Koplanarität

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Flächenmessung eines Wafers mit PSS-Strukturen in 3D-Ansicht

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Profilmessung entlang der blauen Linie, Bump-Höhen- und Breitenanalyse

STUFENHÖHE / -BREITE

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Stufenhöhen- und Breitenmessung

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Flächenmessung eines Saphirwafers mit Goldstruktur in 3D-Ansicht

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Profilmessung entlang der roten Linie, Stufenhöhen- und Breitenanalyse

WELLIGKEIT

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DIN/ISO-konforme Welligkeitsmessung

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Vollständige Topographiekarte eines Saphirwafers in 3D

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Welligkeit eines Saphirwaffels entlang der roten Linie

ROLL-OFF BETRAG / RANDFORM

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SEMI-konforme Roll-off-Messung

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Roll off Betrag (RoA) Profilmuster

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Profil am Rand eines Saphir-Wafers