Saphir und LED

Im Licht stehen.

Längst sind LEDs omnipräsent. Aber alle Glühbirnen sind noch lange nicht ersetzt. Auch werden neue Bauformen der LED und OLED Technologie entwickelt. Und neue Anwendungen dieses vielseitigen Lichtes erkannt. Auch im Bereich der Substrate für diese Produkte liegt noch vieles vor uns.

Die richtige Lösung für Messaufgaben aus der Saphir- und LED-Industrie

Das ist unsere Domäne - hier sind FRT Messgeräte zu Hause. Wir bieten optische Oberflächenmesstechnik für verschiedene Anwendungen im Bereich Saphir und LED.

Probendicke / TTV

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SEMI-konforme Dicken- und TTV-Messung

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Vollständige Waferdickenkarte

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4 Profile eines Saphirwafers zeigen Dickenvariation

GLOBALE / LOKALE WAFERPARAMETER

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Graphische Darstellung der lokalen Waferparameter

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Vollständige Waferdickenkarte in 3D-Ansicht

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Wafer-Map mit lokalen Parametern (LTIR, LTV, LT, LFPD, etc.)

RAUHEIT

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DIN/ISO-konforme Rauheits- und Welligkeitsmessung

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Profil auf der rauen Seite eines Saphir-Wafers, Ra=0,776 µm

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Profil auf der polierten Seite einer Saphirscheibe, Ra=0,04 µm

TOPOGRAPHIE OBEN / UNTEN

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Simultane Topographiemessung auf beiden Waferseiten

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Flächenmessung der oberen und unteren Topographie eines Saphirwafers

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Profilmessung der oberen und unteren Topographie eines Saphirwafers

TOPOGRAPHIE (FORM, STRUKTUR)

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Standard Topographiemessung

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Vollständige Wafer-Topographiekarte der Unterseite eines Saphirwafers in 3D-Ansicht

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Topographie einer LED in 3D-Ansicht

BUMPS

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Bump-Abmessungen und Koplanarität

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Flächenmessung eines Wafers mit PSS-Strukturen in 3D-Ansicht

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Profilmessung entlang der blauen Linie, Bump-Höhen- und Breitenanalyse

STUFENHÖHE / -BREITE

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Stufenhöhen- und Breitenmessung

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Flächenmessung eines Saphirwafers mit Goldstruktur in 3D-Ansicht

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Profilmessung entlang der roten Linie, Stufenhöhen- und Breitenanalyse

WELLIGKEIT

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DIN/ISO-konforme Welligkeitsmessung

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Vollständige Topographiekarte eines Saphirwafers in 3D

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Welligkeit eines Saphirwaffels entlang der roten Linie

ROLL-OFF BETRAG / RANDFORM

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SEMI-konforme Roll-off-Messung

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Roll off Betrag (RoA) Profilmuster

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Profil am Rand eines Saphir-Wafers

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